実際に重要な場所により多くの熱を届ける：金コーティングされたツインチューブランプ
ウェーハ製造を行う際、私たちはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。シリコン表面全体に均一な温度を保つ必要がありますが、ほとんどの場合、熱は無駄に漏れてしまいます。
ここで問題となるのが、一般的な石英ランプです。これらは熱をあらゆる方向に放出してしまいます。それでは効率が悪いのです。だからこそ、金コーティングが施されたツインチューブランプを使用するのです。金コーティングによって、エネルギーが無駄に散逸するのを防ぎ、必要な場所に集中させることができます。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線をどのように扱うかに関係しています。金は非常に反射率が高いのです。反射板に薄い金の層を加えることで、ランプのケースが余計な熱を吸収するのを防ぐことができます。
そうすれば、機械のフレームが無駄に熱くなることもなく、金コーティングによって赤外線が直接ウェーハに当たります。つまり、支払った電力が実際に有効に使われるのです。
ツインチューブの優れている点
ツインチューブ構造のおかげで、スペースを取らずに加熱面積を2倍にすることができます。これは大変重要です。なぜなら、より高いワット数を使用しても、石英ガラスが溶ける心配がないからです。また、熱の分布も均一になります。単一要素の構造を使うとよく見られる「冷たい部分」もなくなります。
ただし、注意点もあります。このような高い熱密度は非常に強烈です。冷却ファンが十分でなければ、このランプは長持ちしません。チューブの端が過度に熱くなると、最終的に石英ガラスが割れてしまいます。十分に冷却しておけば、問題なく使用できます。
システムへの取り付け方法
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されています。長さやコネクタの位置には細心の注意を払っています。誰も、午後の時間を費やして配線を再調整したくないからです。
接続する際のヒントとしては、電源装置がタングステンフィラメントからの急な電流に対応できるかを確認してください。また、金コーティングが剥がれないように注意してください。クリーンルーム内で金コーティングが剥がれるのは避けたいですね。