バーンインラインでは、温度の安定性は好みではなく、厳格な制約です。数度のドリフトがパラメトリック歩留まりを台無しにし、フォトレジストの焼成不均一性が厳しいリソグラフィ予算を圧迫し、良品のウェハを廃棄物に変えてしまいます。私たちは、シフトごとにその熱場を正確に保つために、ウェハバーンイン加熱ランプを設計しました。
コアは簡単です。石英の封筒内にある短波ハロゲン素子が、シリコンと使用するフォトレジストスタックの吸収プロファイルに合った、迅速で直接的な放射熱を提供します。統合されたNIRセンサーがリアルタイムでループを閉じ、アクティブゾーン全体でウェハレベルの均一性を±0.1℃に保ちます。
ランプ本体はクラス1–100のクリーンルーム用に設計されており、低揮発性材料と、定常状態中の粒子生成をゼロに保つ層流空気遮蔽を備えています。出力の再現性はサイクル間で0.2%未満なので、ソフトベイクとハードベイクのプロファイルがロット間やツール間で一貫しています。
これが、ランプがバーンインおよびウェハレベルテストに適している理由です。オーバーシュートなしでより速いラ amp レートを得られ、高密度負荷下でも安定したソーク温度を保持し、機械間で再調整なしに転送できる熱プロファイルを実現します。熱が直接供給されるため、エネルギー使用量が減少し、システムは24/7運転用に設計されているため、予期しないダウンタイムも減少します。
交換可能なモジュールにより、サービスが必要な場合のツールアイドルタイムを最小限に抑えることができます。
設置はツール固有です：精密な光学的整列、クリーンルーム認定のマウント、局所的な熱負荷を制御する排気捕集を計画してください。ランプは、ターゲット距離と放射率が一定のときに最も良く機能します。ウェハスタックや治具を変更する場合、均一性を規格内に保つためにセットポイントマップの迅速な再キャリブレーションが必要です。