半製品の加熱を適切に行うために
ウェーハの加工をしたことがある人なら、ウェーハが歪んだり汚染されたりするという問題を知っているでしょう。これはほとんどの場合、温度制御の問題に起因しています。
この問題を解決するために、私たちは赤外線ランプと金製の反射板を組み合わせて使用します。目的は単純です――必要な場所に正確に熱を届け、チャンバーの他の部分を無駄に温めることを防ぐのです。
なぜ金なのか？
多くの人はアルミニウムを使い始めますが、問題があります。アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収してしまいます。一方、金は異なります。赤外線の98％以上を反射してしまいます。その結果、熱がランプの筐体に溜まることなく、集中したビームとして放出されます。これは一石二鳥です。ランプの出力を下げても、依然として基板上の特定の場所に十分な温度を与えることができます。
「グリーンファクトリー」としての利点
私たちは皆、カーボンニュートラルについて聞きますが、実際にはウェーハ1枚あたりの消費電力を減らすことを意味します。金製の反射板を使えば、ランプ自体の消費電力を節約できるだけでなく、HVACシステムの負担も軽減されます。クリーンルーム内に漏れ込む熱が少なくなるため、空調システムも余分な労力を払わずに済みます。
注意点（「気を付けるべき点」）
金は素晴らしい素材ですが、少し手入れが大変です。何よりも、表面に研磨剤を使ってはいけません。一度でも悪く擦ってしまうと、コーティングが傷つき、反射率が低下してしまいます。ほこりがたまらないよう、定期的に清掃を行う必要があります。反射板が汚れると、熱が均一に分布しなくなり、ウェーハ上に不均一な高温域や低温域ができてしまいます。
最後に、電力にも注意が必要です。電圧の急上昇によって、フィラメントがすぐに破壊されてしまいます。また、配線を行う際は、コントローラーが短波長の赤外線の速度に対応できるか確認してください。もしコントローラーの速度が遅すぎると、システムが何が起こったかを理解する前に、温度が過度に上昇してしまいます。