ในห้องผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของแผ่นร้อนเพียง 0.5°C ระหว่างกระบวนการอบฟอโตรีสิสต์ ก็ถือเป็นปัญหาใหญ่ที่ส่งผลต่อความแม่นยำในการควบคุมความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้น จนทำให้ผลิตภัณฑ์ที่ได้ไม่มีคุณภาพ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการวัดอุณหภูมิที่สอดคล้องกับค่าที่กำหนดไว้ ไม่ใช่เพียงแค่วัดอุณหภูมิตรงจุดที่เครื่องทำความร้อนอยู่เท่านั้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราผลิตเทอร์โมคัพเปิลสำหรับเครื่องทำความร้อนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความสามารถในการทำงานซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ จุดวัดอุณหภูมิจะอยู่ตรงจุดที่แผ่นชิปสัมผัสกับอุณหภูมิจริง ไม่ใช่ตรงจุดที่เครื่องทำความร้อนอยู่
ระบบนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละออง และสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิซ้ำๆ ได้ อัตราการส่งผ่านข้อมูลอุณหภูมิจะคงที่ตลอดเวลา 24/7 ซึ่งช่วยให้ไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างแม่นยำ
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี จำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด โดยเทอร์โมคัพเปิลของเราจะช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ ซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้น และลดปริมาณผลิตภัณฑ์ที่ไม่มีคุณภาพ
การควบคุมอุณหภูมิที่ดียังช่วยลดระยะเวลาในการทดสอบ และลดการใช้พลังงานอีกด้วย สิ่งที่ได้รับคืออัตราการผลิตที่สูงขึ้น การต้องทำงานซ้ำน้อยลง และสามารถวางแผนเวลาการทำงานของอุปกรณ์ได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง ความแม่นยำในการติดตั้งมีความสำคัญมาก โดยสายวัดอุณหภูมิต้องอยู่ในตำแหน่งที่กำหนด และต้องอยู่ในระนาบเดียวกับแผ่นชิป หากมีการปรับตำแหน่งที่ผิดหรือการสัมผัสกับอุณหภูมิที่ไม่ดี ก็จะส่งผลให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง
ระบบนี้สามารถใช้งานได้กับเครื่องทำความร้อนแบบต่างๆ แต่การปรับปรุงระบบมักจำเป็นต้องมีการออกแบบ bracket และตัวเชื่อมต่อเป็นพิเศษ โปรดระบุรุ่นของเครื่องทำความร้อนและช่วงอุณหภูมิที่ใช้งาน เพื่อให้เราสามารถเลือกวัสดุที่เหมาะสม รวมถึงวิธีการปรับแต่งระบบให้เหมาะกับความต้องการของคุณได้