ในกระบวนการลิโธกราฟีนั้น ขั้นตอนการอบด้วยความร้อนไม่ใช่เพียงแค่ “ขั้นตอนทางความร้อน” เท่านั้น แต่ยังเป็นจุดแบ่งระหว่างคุณภาพของรูปทรงที่ได้กับความจำเป็นต้องทำการปรับแก้อีกด้วย ซึ่งเป็นสิ่งที่เราไม่อยากเจอเลย สารโฟโตรีซิสต์มีความไวต่อความร้อนมาก ดังนั้นความผันผวนของอุณหภูมิจึงมีผลกระทบอย่างมาก หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียงหนึ่งหรือสององศา ก็อาจทำให้คุณภาพของชิ้นงานลดลงได้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้หลอดไฟฮาโลเจนความยาวคลื่นสั้นซึ่งอยู่ภายในภาชนะควอตซ์ ซึ่งช่วยให้เกิดความร้อนอย่างรวดเร็วและแห้งสนิท โดยมีปริมาณอนุภาคน้อยมาก ค่าที่สำคัญที่สุดคือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วทั้งชิ้นงาน ซึ่งควรอยู่ที่ ±0.1°C ความสม่ำเสมอของขั้นตอนการอบก็ถูกควบคุมไว้ในระดับเดียวกัน เพื่อให้ผลลัพธ์ในแต่ละครั้งเหมือนกันเสมอ
ระบบนี้ถูกออกแบบมาเพื่อใช้งานในห้องสะอาด โดยสามารถทำงานได้ในระดับ Class 1 ถึง 100 โดยไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นเลย ระบบนี้สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ได้ตลอด 24/7 และเรายังสามารถตรวจสอบความเสถียรของผลลัพธ์ได้ตลอดระยะเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง การใช้พลังงานก็ถูกควบคุมไว้ในระดับที่เหมาะสม ไม่มากเกินไป ดังนั้นค่าใช้จ่ายด้านพลังงานจึงอยู่ในระดับที่เหมาะสม
เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะสำหรับการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ เราต้องการให้การอบด้วยความร้อนสามารถขจัดสารละลายออกได้ โดยไม่ทำให้สารโฟโตรีซิสต์ไหลหรือเกิดความเครียด การควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดจะช่วยให้ความหนาของเส้นต่างๆ มีความสม่ำเสมอมากขึ้น และลดปัญหาการเกิดคราบบนพื้นผิวได้ นอกจากนี้ ยังช่วยให้การจับคู่รูปแบบต่างๆ ทำได้ง่ายขึ้นอีกด้วย
ด้วยวิธีนี้ จะช่วยลดจำนวนครั้งที่ต้องทำการปรับแก้ และเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต นอกจากนี้ ยังช่วยลดการใช้พลังงาน เพราะหลอดไฟจะสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่ควรคาดหวังเมื่อนำระบบนี้มาใช้ หลอดไฟสามารถติดตั้งได้อย่างราบรื่น แต่อินเตอร์เฟซทางความร้อนจะต้องเข้ากันได้กับชุดอุปกรณ์ที่ใช้ในการเคลือบวัสดุ ปัจจัยต่างๆ เช่น การไหลของก๊าซ ความแม่นยำในการติดตั้ง และมวลความร้อน ล้วนมีความสำคัญ การตั้งค่าระบบให้เหมาะสมนั้นใช้เวลาไม่นาน แค่ปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับสภาพของชุดอุปกรณ์เท่านั้นเอง
เมื่อระบบถูกตั้งค่าให้เหมาะสมแล้ว ก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีการบำรุงรักษาน้อยมาก แต่อายุการใช้งานของหลอดไฟนั้นมีขีดจำกัด ดังนั้นควรวางแผนการเปลี่ยนหลอดไฟไว้ล่วงหน้า เพื่อไม่ให้เกิดปัญหาในภายหลัง