หลอดไฟสำหรับอบวัสดุโฟโต้เรซิสต์
ในกระบวนการลิโธกราฟีนั้น ขั้นตอนการอบด้วยความร้อนไม่ใช่เพียงแค่ “ขั้นตอนทางความร้อน” เท่านั้น...
ฮีตเตอร์อบรีซิสต์อีบีม
บนพื้นลิธอกราฟี อุณหภูมิการอบเรซินอิเล็กตรอนบีมไม่ใช่เพียงการอุ่นเครื่อง แต่มันเป็นผู้รักษาประตูสำหรับการควบคุมความกว้างของลายเส้น ความเบี่ยงเบนเพียง...