W trakcie procesu pieczenia dochodzi do zmiany temperatury o 0,2°C, a fotorezyst zaczyna zachowywać się inaczej. Jednolitość warstwy fotorezystu pogarsza się, co doprowadza do konieczności ponownych przeprowadzania procedur obróbki. W litografii stabilność termiczna nie jest tylko kwestią wyboru – to istotny element całego procesu.
Co jest ważne w tym procesie
Tworzymy zamienniki grzejników próżniowych Leybold na bazie elementów podczerwieni krótkofalowej oraz układów cieplnych opartych na kwarcu, które zapewniają jednolitość temperatury na powierzchni płytki elektronicznej na poziomie ±0,1°C. Korpus grzejnika jest tak skonstruowany, aby zapewnić szczelność próżniową, a także posiada specjalne elementy ochronne, które zapobiegają uwalnianiu się gazów i powstawaniu cząstek. Dzięki temu gęstość mocy pozostaje stała przy danej napięciu, a powtarzalność temperatury mieści się w założeniach technologicznych stosowanych w produkcji fotorezystu.
Dlaczego ten zamiennik sprawdza się w produkcji
Proces pieczenia można przeprowadzać zarówno w warunkach próżniowych, jak i bez nich, aby kontrolować usuwanie rozpuszczalników i ruch fotorezystu. Dzięki temu zamiennikowi wartość temperatury pozostaje stała z cyklu na cykl, co zapobiega niestabilności szerokości linii i liczby defektów. Kompatybilność z salami czystymi klasy 1–100 jest zachowana dzięki wyborowi materiałów i elementów o niskim stopniu wytwarzania cząstek. Projekt zamiennika zapobiega również uszkodzeniom spowodowanym wpływem ciepła. Dzięki temu mamy mniej problemów, stabilniejszą jakość produktu oraz możliwość planowania prac konserwacyjnych.
Detale, które chronią przed problemami
Konfiguracja zamiennika musi być dokładna. Przed wymianą starego urządzenia należy sprawdzić typ złączy, rozmieszczenie elementów oraz lokalizację elementów termicznego połączenia. Tylko wtedy temperatura będzie utrzymywana na żądanej wartości. Po instalacji konieczny jest krótki okres adaptacji, aby urządzenie mogło ponownie funkcjonować prawidłowo. Następnie jednolitość i powtarzalność temperatury staną się stałe parametry procesu.