Na linii produkcyjnej to właśnie w etapie pieczenia ustala się parametry termiczne niezbędne do kontrolowania szerokości linii. Nawet niewielka odchylenie o 2°C podczas procesu miękkiego lub twardego pieczenia może wpłynąć na stabilność parametrów CD i spowodować pojawienie się niepożądanych efektów. Stworzyliśmy grzałkę na bazie węglowych nanorurek, aby wyeliminować takie problemy.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Na całej powierzchni płytki uzyskuje się jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, przy tym powtarzalność wartości temperatury wynosi ±0,2°C. Element na bazie węglowych nanorurek reaguje szybko i zachowuje stabilność, natomiast brak kwarcu sprawia, że zapobiega to tworzeniu się cząstek. Urządzenie może być używane w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, bez żadnego uwalniania gazów do komory procesowej oraz bez punktów gorących, które mogłyby wpłynąć na jakość produktu. Kontrola postępu ogrzewania zapewnia, że profil termiczny odpowiada właściwościom materiału użytego do produkcji, a nie tylko parametrom grzałki.
Dlaczego to działa w litografii? W litografii stabilność temperatury podczas procesu miękkiego pieczenia wpływa na usunięcie rozpuszczalników oraz na naprężenia w warstwie chemicznej. Stabilność podczas procesu twardego pieczenia natomiast decyduje o przyczepności i odporności warstwy chemicznej na proces wyżarzania. Dzięki temu urządzeniu zmiany parametrów CD są minimalne, ilość pracy korygującej się zmniejsza, a linie na płytkach pozostają stabilne. Urządzenie może pracować całą dobę, przy regularnych interwałach konserwacji, dzięki czemu zmniejsza się czas przestoju. Zużycie energii jest również mniejsze, ponieważ element grzewczy nagrzewa się efektywnie i utrzymuje temperaturę bez konieczności wielokrotnego włączania i wyłączania.
Które parametry są ważne? Grzałka wymaga dedykowanego źródła zasilania z filtrem oraz odpowiedniego mocowania w obudowie urządzenia – nietypowe połączenia mogą wpłynąć negatywnie na jednolitość temperatury. Należy zaplanować krótki okres testowy, aby dostosować szybkość ogrzewania do specyfiki używanego materiału. Gdy to nastąpi, proces staje się bardziej przewidywalny, a parametry termiczne pozostają stałe pomiędzy poszczególnymi partiami produktu.