W trakcie procesu pieczenia dochodzi do zmiany temperatury o 0,2°C, a fotorezyst zaczyna zachowywać się inaczej. Jednolitość warstwy fotorezystu...

Na sali produkcyjnej proces wypalania fotorezystu to nie tylko krok termiczny – to kontrola wymiarowa. Temperatura miękkiego i twardego wypalania,...