Fotoresterovenslamp
Op de lithografieafdeling zijn de processen ‘zachte verhitting’ en ‘harde verhitting’ geen gewone thermische stappen. Het gaat om grenzen die bepalen...
E stralingsresist bakovenverwarming
On the lithography floor, an e-beam resist bake is not some warm-up. It’s the gatekeeper for linewidth control. A 0.3°C drift can print a sloped...