Op de lithografieafdeling zijn de processen ‘zachte verhitting’ en ‘harde verhitting’ geen gewone thermische stappen. Het gaat om grenzen die bepalen of het patroon nauwkeurig wordt weergegeven, of dat er een herwerkingsproces nodig is – iets wat je natuurlijk wilt voorkomen. Fotoresistent is gevoelig voor temperatuurschommelingen; kleine afwijkingen kunnen tot grote problemen leiden. Eén of twee graden verschil, of een hotspot op het chipje, kan al zorgen voor problemen met de controle van de CD-structuur.
Wat technisch gezien belangrijk is We gebruiken korte-golfhalogeenlampen in een kwartsomhulsel. Hierdoor ontstaat snelle, droge hitte met minimale concentratie aan deeltjes. De belangrijkste parameter is de temperatuurnauwkeurigheid over het hele chipje: ±0,1°C. De herhaalbaarheid moet ook binnen deze marge blijven, zodat elke verhittingscyclus hetzelfde resultaat oplevert als de vorige.
Het systeem is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte: werking in klasse 1 tot 100, zonder enige vorm van deeltjeontwikkeling. Het systeem behoudt een stabiele temperatuur onder 24/7 gebruik. We controleren ook de stabiliteit van de uitvoer gedurende meer dan 5.000 uur. De energieverbruik wordt geregeld op het vereiste niveau, zodat het thermische budget intact blijft.
Waarom dit werkt bij het verwerken van fotoresistent Het is belangrijk om de oplosmiddelen effectief te verwijderen, zonder dat de fotoresistent begint te stromen of dat er spanningen ontstaan. Door deze parameters goed te regelen, verbetert de precisie van de lijnen en verdwijnen er minder oneffenheden. Hierdoor wordt het gemakkelijker om het patroon te matchen met de gewenste structuur.
Er zijn minder herwerkingen nodig, waardoor de productieefficiëntie toeneemt. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de lamp snel op het gewenste temperatuurniveau komt en dit niveau behoudt.
Wat je kunt verwachten wanneer je het systeem installeert De lamp past zich goed aan, maar de thermische interface moet overeenkomen met die van je coating- of trackchamber. Gasstroom, montage toleranties en thermische massa spelen allemaal een rol. De installatie duurt niet lang; je hoeft alleen de PID-instellingen af te stellen op basis van de eigenschappen van je chamber.
Zodra alles is ingesteld, blijft de werking stabiel, met minimale onderhoudskosten. Maar de levensduur van de lamp is beperkt; plan dus van tevoren wanneer je de lamp moet vervangen, zodat je niet voor verrassingen komt te staan.