On the lithography floor, an e-beam resist bake is not some warm-up. It’s the gatekeeper for linewidth control. A 0.3°C drift can print a sloped sidewall. A cold spot can leave film behind, and you’ll see it later as develop lift. We built our e-beam resist baking heater to live in that reality—holding temperature where the process needs it, not where the heater decides to settle.
Wat technisch telt. We sturen kortgolvige infrarood elementen via een kwarts-gebaseerd thermisch pad, zodat de warmte snel en schoon is. Over de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C, en de setpointstabiliteit blijft onder ±0,05°C zodra de bakefase stabiel is. Het systeem bereikt de baktemperatuur binnen enkele seconden, zodat u de idle tijd tussen loten minimaliseert zonder het thermische budget van de fotoresist te overschrijden. Temperatuurherhaalbaarheid wordt per recept, per machine en per dag bijgehouden, zodat u de bakgeschiedenis direct kunt koppelen aan kritieke dimensieprestaties. De hot zone is ontworpen voor Class 1–100 cleanroomgebruik, met materialen en oppervlakken die de deeltjesgeneratie beperken en het reinigen eenvoudig maken. Waarom het werkt in de praktijk. Deze heater is ontwikkeld voor e-beam resist verwerking, waar het bakprofiel niet alleen “helpt”, maar de opbrengst vormgeeft. Strakke uniformiteit vermindert lokale CD-bias en creëert marge tegen patrooninstorting. Snelle stabilisatie beperkt niet-productieve tijd, zodat u de doorvoer kunt verhogen zonder het thermische budget van de resist zwaarder te belasten. Cleanroom-compatibele constructie houdt het aantal deeltjes laag, wat resulteert in minder contaminatierisico’s na het bakken. Het eindresultaat is een bake die zich als een constante gedraagt – dag na dag, lot na lot. Dit is belangrijk om te onthouden. Installatie komt neer op het afstemmen van de mechanische afmetingen van het gereedschap en de elektrische aansluiting, inclusief type connector en lokale spanning. Houd rekening met een korte inbedrijfstelling om recept-rampen te tunen en temperatuurmapping op uw exacte bakinstellingen te bevestigen. De heater presteert het beste als de afzuigstroming en kamerdruk binnen het gespecificeerde bereik blijven. Buiten de grenzen kan zelfs een stabiele heater per recept afwijkingen vertonen. Plan de integratie vroegtijdig – uitlijning is de helft van de prestatie.