Op de productielijn kan een temperatuurverschil van 0,5°C op het hete oppervlak tijdens het drogen van de fotoresist tot grote problemen leiden. Dit soort kleine afwijkingen kan de controle over de dikte van de laag verstoren, waardoor het product niet bruikbaar wordt. Er is dus een nauwkeurige temperatuurmeting nodig, die zich baseert op de ingestelde waarde – en niet op de hotspotten van de verwarmingsapparaten.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij maken thermokoppels voor halfgeleiderverwarmers, zodat de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer binnen ±0,1°C blijft. Ook moet de herhaalbaarheid van de meting hoog zijn, zodat de kwaliteit van het product consistent blijft. De sensorknoppen zitten op plekken waar de wafer echt de temperatuur ervaart, en niet op plekken waar de verwarmingsapparaten een piek hebben.
Het apparaat is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100: het veroorzaakt geen stofdeeltjes en kan meerdere keer worden gebruikt onder verschillende temperaturen. De uitgangstemperatuur blijft stabiel, zodat er geen onverwachte stilstand is en de onderhoudsintervallen voorspelbaar zijn.
Waarom dit werkt in de lithografie: Bij lithografie moet het drogen van de fotoresist precies volgens de benodigde parameters worden uitgevoerd. Onze thermokoppels zorgen ervoor dat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. Hierdoor wordt de variatie in de dikte van de laag verminderd, waardoor het product van hogere kwaliteit wordt.
Bovendien verkorten deze thermokoppels de tijd die nodig is om het apparaat te kalibreren, en ze verminderen het energieverbruik door ongewenste temperatuurverschillen te voorkomen. Het resultaat is een hogere opbrengst, minder herwerkingen en meer beschikbare tijd voor het apparaat.
Wat belangrijk is om goed te doen: De installatie moet nauwkeurig worden uitgevoerd: de sensorknoppen moeten op de juiste diepte worden geplaatst en rechtstreeks in contact komen met het oppervlak van de wafer. Onjuiste plaatsing of slecht contact kunnen de thermische uniformiteit verminderen en tot temperatuurverschillen leiden.
Het apparaat werkt met de meeste verwarmingsplatforms, maar voor aanpassingen is soms een speciaal frame of连接器 nodig. Geef ons aan welk type verwarmingsapparaat je hebt en binnen welk temperatuurbereik je wilt werken, zodat we het materiaal, de isolatie en de calibratiecurve kunnen aanpassen aan jouw behoeften.