Op de productielijn vormt thermische afwijkingen tijdens het zacht bakken of drogen van de wafers geen klein probleem. Ze zorgen voor afwijkingen in de belangrijke maten en achterlaten restanten die op den duur leiden tot een verlies aan productiecapaciteit. We hebben infraroodverwarmers ontwikkeld die snel kunnen reageren, zodat deze afwijkingen vanaf hun oorsprong kunnen worden tegengegaan.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolflange infraroodhalogeenlampen in kwartskoepels. Hierdoor wordt er een hoge stralingsdichtheid gegenereerd, met een reactietijd van minder dan een seconde. In het actieve gebied blijft de temperatuur op het niveau van de wafel constant binnen een marge van ±0,1°C. Na het thermische proces blijft de temperatuur binnen een marge van ±0,5°C. De uitgangssterkte blijft stabiel, vanaf het begin tot dat het systeem in een stabiele staat is gekomen – er zijn geen hete punten die de stroom van het fotopapier beïnvloeden. De lampen zijn ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De geometrie en materialen van de lampen zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden geproduceerd. U kunt rekenen op meer dan 5.000 uur gebruik, met minder dan 5% afname van de uitgangssterkte, zelfs bij 24/7 gebruik.
Waarom dit in de praktijk werkt:
Bij lithografie bepaalt het zacht bakken het profiel van het fotopapier, terwijl het harde bakken dit profiel vastzet. Onze infraroodverwarmers zorgen er snel voor dat de temperatuur daalt, zodat de oplosmiddelen kunnen verdampen zonder dat het filmoppervlak verdampt. Deze snelheid is ook handig na het schoonmaken: het drogen van de wafels gebeurt snel en gelijkmatig, waardoor er minder waterrestanten overblijven en er betere controle is over de oppervlaktenuitstraling. Het resultaat is kortere procescycli, minder herwerkingskosten en minder afval. De energieverbruik neemt af, omdat de verwarmers minder energie gebruiken en sneller de gewenste temperatuur bereiken vergeleken met conventionele warmtebronnen.
Wat u moet meenemen in overweging:
Voor de installatie is nauwkeurige optische alignering nodig, evenals een goede reflectorstructuur. Onjuiste alignering zal zich uiten als oneffenheden op het oppervlak van de wafel. De lampen vereisen ook schone stroomvoorziening; spanningsschommelingen en andere storingen kunnen leiden tot onstabiele uitgangssterktes. Gebruik dus een gescheiden stroombron en controleer eerst of de apparatuur voldoet aan de vereisten voordat u hem installeert.