Kwarts halogeen infraroodemitter
Op de lithografie-afdeling is al een afwijking van een halve graad in het Soft Bake-profiel voldoende om de nauwkeurige controle over de afmetingen...
Halogeenlamp voor RTP systeem
Op de productievloer kan een temperatuurschommeling van 0,2°C tijdens het verhitten van de wafer de gewenste nauwkeurigheid en kwaliteit van het...