Mengontrol Suhu dengan Baik di Proses Semi-Fabrikasi
Jika Anda pernah bekerja dengan wafer, tentu Anda tahu betapa merepotkannya masalah deformasi atau kontaminasi yang bisa terjadi pada wafer tersebut. Masalah ini biasanya disebabkan oleh satu hal saja: kontrol suhu yang tidak tepat.
Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan lampu inframerah (IR) yang dipadukan dengan reflektor berbahan emas. Tujuannya sederhana: membuat panas tersalurkan tepat ke tempat yang diperlukan, sehingga energi tidak terbuang sia-sia untuk memanaskan bagian lain dari ruang produksi.
Mengapa emas?
Banyak orang memilih penggunaan aluminium sebagai bahan reflektor. Namun, aluminium menyerap terlalu banyak energi. Emas berbeda; ia mampu memantulkan lebih dari 98% radiasi inframerah tersebut. Dengan demikian, panas tidak akan masuk ke dalam bodi lampu, melainkan berbentuk sinar yang terfokus. Ini merupakan solusi yang efektif. Anda dapat menurunkan daya lampu, tetapi suhu di permukaan wafer tetap dapat dikontrol dengan baik.
Konsep “Pabrik Hijau”
Kita sering mendengar tentang konsep netralitas karbon. Namun, dalam proses fabrikasi, hal ini berarti penggunaan energi yang lebih sedikit per wafer. Dengan menggunakan reflektor berbahan emas, Anda tidak hanya menghemat energi, tetapi juga membantu sistem HVAC untuk bekerja lebih efisien. Kurangnya panas yang masuk ke ruang bersih membuat sistem pengendali suhu tidak perlu bekerja keras untuk menjaga suhu tetap stabil.
Kelemahan Penggunaan Emas
Emas memang sangat bagus, tetapi perawatannya agak rumit. Jangan gunakan pembersih yang bersifat abrasif pada permukaan reflektor tersebut. Jika permukaan reflektor tergores, reflektivitasnya akan menurun. Pastikan untuk menjaga kebersihan reflektor secara rutin agar debu tidak menumpuk. Jika reflektor kotor, panas akan tersebar tidak merata, sehingga akan timbul area-area yang terlalu panas atau terlalu dingin pada permukaan wafer.
Satu hal lagi: perhatikan konsumsi daya listriknya. Naik turunnya tegangan listrik dapat merusak filamen lampu dengan cepat. Pastikan bahwa kontroler yang digunakan mampu mengikuti kecepatan radiasi inframerah. Jika kontroler tersebut terlalu lambat, suhu akan melebihi batas yang ditentukan sebelum sistem sempat bereaksi.