Di lini pengemasan sensor cerdas tersebut, proses pemanasan yang dilakukan oleh sensor-sensor cerdas ini tidak boleh menimbulkan penyimpangan suhu. Jika proses pemanasan tidak berjalan sesuai spesifikasi, maka kualitas produk akan menurun sebelum proses litografi selesai. Kami membangun platform termal inframerah untuk menghilangkan faktor ketidakpastian tersebut.
Apa yang penting dalam sistem ini? Kami menggunakan emitor NIR yang disetel agar panasnya dapat diserap dengan baik oleh bahan fotoresist. Dengan demikian, panasnya akan sampai ke permukaan wafer secara cepat dan tanpa kontak langsung. Di seluruh area pemanasan, tingkat keseragaman suhu pada wafer mencapai ±0,1°C. Repeatabilitas proses pun terjaga berkat penggunaan alat pengukur suhu berbasis siklus tertutup di permukaan substrat. Badan pemanasnya terbuat dari kuarsa dan keramik berkualitas tinggi, sehingga tidak akan menghasilkan partikel saat beroperasi. Sistem ini dapat beroperasi di ruang bersih kelas 1–100 tanpa meningkatkan jumlah partikel di udara. Profil suhunya tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya. Kepadatan daya pun dikendalikan agar sesuai dengan batasan termal yang ditentukan, sehingga waktu proses tetap efisien—tidak perlu menunggu proses pendinginan yang lama.
Mengapa sistem ini cocok untuk pengemasan sensor cerdas? Sistem ini digunakan untuk memproses lapisan tipis dan komponen-komponen yang sensitif. Dengan sistem pemanasan inframerah ini, proses pengeringan fotoresist berjalan secara merata, sehingga kualitas produk tetap terjaga. Hasilnya adalah lebih sedikit produk yang perlu diperbaiki, lebih sedikit wafer yang rusak, serta kontrol dimensi yang lebih akurat.
Platform ini juga mengurangi konsumsi energi, karena tidak membutuhkan tenaga pemanasan yang berlebihan. Sistem ini hanya memanaskan wafer saat diperlukan, dan segera mendinginkannya kembali. Dengan demikian, konsumsi listrik berkurang, sementara waktu proses tetap efisien. Keandalan sistem ini sangat tinggi, karena emitor-emitor yang digunakan memiliki umur yang panjang, sehingga suhu tetap stabil sesuai spesifikasi.
Apa yang perlu dipersiapkan? Untuk penggunaan sistem ini, diperlukan pasokan daya yang stabil serta permukaan penyangga yang kokoh. Arrangement emitor-emitor ini sangat sensitif terhadap penyimpangan posisi. Jika terjadi penyimpangan, maka akan terjadi efek bayangan di tepi wafer. Lakukan pengujian singkat untuk menentukan parameter yang tepat, lalu tetapkan nilai-nilai tersebut dalam rencana kontrol Anda.
Setelah sistem terkalibrasi dengan baik, prosesnya akan menjadi lebih reproduktif. Namun, tetap diperlukan pemeriksaan rutin terhadap optik dan kalibrasi alat pengukur suhu.