در خط تولید، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در صفحه گرمکننده در حین فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در کنترل عرض خطوط روی ویفر شود و در نهایت منجر به از بین رفتن محصول تولید شده شود. لازم است که اندازهگیری دما، مطابق با مقدار تنظیمشده انجام شود؛ نه بر اساس نقاط داغ حرارتی.
چه چیزهایی از نظر فنی مهم هستند؟ ما ترموکاپلهایی برای هیترهای نیمههادی طراحی میکنیم تا یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم؛ همچنین باید این یکنواختی در تمام دستههای تولیدی حفظ شود. نقطه اندازهگیری دما، در جایی قرار دارد که ویفر واقعاً دمای آنجا را احساس میکند؛ نه در جایی که هیتر دارای بالاترین دما است.
این سیستم برای اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ این سیستم باعث ایجاد ذرات ناخواسته نمیشود و میتواند در برابر چرخههای حرارتی مکرر مقاومت کند. خروجی این سیستم در طول ۲۴ ساعت شبانهروز پایدار باقی میماند؛ این امر باعث عدم وجود توقفهای غیرمنتظره و فاصلههای زمانی قابل پیشبینی برای تعمیرات میشود.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، ماژول پختن باید بتواند دمای لازم را با دقت بالا تحقق بخشد. ترموکاپلهای ما باعث حفظ یکنواختی دما میشوند؛ این امر باعث کاهش تغییرات در عرض خطوط روی ویفر، بهبود کیفیت فوتورزیست و کاهش مقدار محصولات از بین رفته میشود.
کنترل دقیقتر همچنین باعث کاهش زمان لازم برای تستها و کاهش مصرف انرژی میشود. نتیجه این کار، بهرهوری بالاتر، کمتر شدن کارهای تکراری و زمان استفاده قابل پیشبینی از تجهیزات خواهد بود.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این سیستم ضروری است؟ میزان تابعیت نصب بسیار دقیق است؛ پروب باید در عمق مشخصشده قرار گیرد و در راستای سطح ویفر قرار بگیرد. عدم تطابق یا تماس حرارتی ضعیف، باعث کاهش یکنواختی دما و ایجاد اختلافات در دما میشود.
این سیستم با اکثر پلتفرمهای هیتر سازگار است؛ اما گاهی برای تطبیق آن با نیازهای خاص، به پایه و کانکتورهای سفارشی نیاز است. لطفاً مدل هیتر و محدوده دمایی فرآیند تولید خود را مشخص کنید تا بتوانیم مواد مورد استفاده، عایقبندی و منحنی کالیبراسیون را متناسب با پروفایل حرارتی شما تنظیم کنیم.