در خط تولید، نوسانات حرارتی در حین فرآیندهای پخت ملایم یا خشک کردن ویفر، تنها یک مشکل نیست؛ بلکه باعث تغییر ابعاد کلیدی وجود ویفر میشود و همچنین باقیماندن مواد زائدی که منجر به کاهش بازده تولید میشوند. ما لامپهای گرمایشی مادون قرمز با پاسخ سریع را طراحی کردهایم تا این نوسانات را در همان منبع از بین ببرند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از عناصر گرمایشی مادون قرمز کوتاهامواج در پوششهای کوارتزی استفاده میکنیم؛ بنابراین دارای چگالی تابش بالا و پاسخ سریعی هستند. در سراسر ناحیه فعال، یکنواختی دمای ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین تکرارپذیری دمای تنظیمشده نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد است. خروجی گرمایشی از لحظه شروع تا حالت تعادلی، پایدار است؛ بنابراین هیچ نوسان حرارتیی وجود ندارد که باعث اختلال در فرآیند تولید شود. این لامپها برای استفاده در اتاقهای پاک به درجه ۱-۱۰۰ طراحی شدهاند؛ همچنین از موادی استفاده شده که تولید ذرات را تا حد امکان به صفر برساند. میتوانید انتظار داشته باشید که این لامپها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه بازده آنها کمتر از ۵٪ شود؛ حتی در شرایط کار ۲۴/۷.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند پخت ملایم، پروفایل فوتورزیست را تعیین میکند؛ در حالی که فرآیند پخت سخت، آن پروفایل را ثابت نگه میدارد. گرمایش مادون قرمز، تعادل حرارتی را به سرعت برقرار میکند؛ بنابراین حلالها بدون جوشیدن فیلم، از روی آن پاک میشوند. همین سرعت در فرآیند تمیزکاری نیز مفید است؛ خشک کردن ویفر به سرعت انجام میشود و این امر باعث کاهش نشانههای ناشی از آب و کنترل بهتر انرژی سطحی میشود. نتیجه این است که زمان فرآیند کوتاهتر میشود، تعداد کارهای تکراری کمتر میشود و مقدار ضایعات نیز کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمکن در دمای پایینتری کار میکند و به سرعت به دمای تنظیمشده میرسد.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این لامپها، نیاز به تطبیق دقیق optیکی وجود دارد؛ همچنین نیاز به مسیر بازتاب مناسب نیز وجود دارد. در صورت عدم تطبیق، ناهمواریهایی در سطح ویفر ایجاد میشود. همچنین، این لامپها به برق پاک نیاز دارند؛ نوسانات ولتاژ میتواند باعث اختلال در خروجی گرمایشی شود. بنابراین، باید از منبع برق مناسب استفاده کرد و قبل از استفاده، دستگاه را بر اساس شرایط حرارتی مورد بررسی قرار داد.