در این فرآیند، پارامترهای مربوط به حرارتدهی، ۰.۲ درجه سانتیگراد تغییر میکند؛ در نتیجه، رفتار فوتورزیست نیز تغییر میکند. یکنواختی سطح ویفر نیز کاهش مییابد. کارهای تعمیراتی نیز افزایش مییابد. در فرآیند لیتوگرافی، پایداری حرارتی یک مزیت نیست، بلکه خود بخشی از فرآیند است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما هیترهای واکوم در Leybold را با استفاده از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج و ساختارهای حرارتی مبتنی بر کوارتز ساختهایم؛ این ساختارها باعث میشوند که یکنواختی سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. بدنه هیتر نیز به گونهای طراحی شده که از نشت گازها و تولید ذرات جلوگیری کند. ما مقاومت و شکل هیتر را به گونهای تنظیم کردهایم که تراکم انرژی در محدوده مورد نیاز کامره حفظ شود؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده مشخصی باقی بماند.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
شما از روشهای حرارتدهی ملایم و شدید در شرایط واکوم برای کنترل حذف حلالها و جریان فوتورزیست استفاده میکنید. با استفاده از این هیتر، مقدار حرارت تولید شده در هر دور تولید، یکسان باقی میماند؛ در نتیجه، کنترل عرض خطوط و تعداد نقصها نیز به خوبی انجام میشود. سازگاری این هیتر با کامرههای کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز حفظ میشود؛ زیرا مواد و جوشهای مورد استفاده، دارای میزان ذرات کمی هستند. همچنین، طراحی این هیتر از پوستهشدن ناشی از گرما جلوگیری میکند. در نتیجه، تغییرات کمتری در پارامترهای فرآیند رخ میدهد، بازدهی پایداری دارد و زمانهای تعمیرات نیز قابل پیشبینی هستند.
جزئیاتی که از مشکلات جلوگیری میکنند
تطبیق این هیتر با کامره کار دشواری است؛ لذا قبل از جایگزینی هیتر قدیمی، باید نوع فلنجها، چیدمان پینها و محل قرارگیری اتصالات حرارتی را بررسی کنید؛ در غیر این صورت، پارامترهای فرآیند در محدوده مورد نظر قرار نخواهند گرفت. همچنین، باید برای یک دوره کوتاه برای سازگار شدن هیتر با شرایط کامره، زمان در نظر گرفت؛ پس از آن، یکنواختی و تکرارپذیری دما به حالت پایدار خواهد رسید.