
Effektive Heizung in einer intelligenten Fabrik
Wenn Sie eine intelligente Fabrik für die Industrie 4.0 errichten möchten, müssen Sie erst einmal auf herkömmliche Heizmethoden verzichten – diese reichen einfach nicht mehr aus. Für Prozesse wie das Arbeiten mit Wafern oder chemische Vapordeposition sind UHP-Heizlampen erforderlich. Wir entwickeln solche Lampen so, dass sie problemlos in digital gesteuerte Anlagen integriert werden können – dort wird die Temperatur durch Echtzeitdaten geregelt. Kein Raten mehr nötig.
Hohe Leistung in kleinen Abmessungen
Unsere UHP-Lampen bieten eine enorme Leistung in sehr kompakten Abmessungen. Wenn Sie mit einem 300-mm-Rohr arbeiten, ist es wichtig, dass die Wärme konzentriert abgegeben wird. Andernfalls entsteht keine gleichmäßige Oberfläche auf dem Wafer – und das führt zu Problemen. Wir verwenden Hochspannungsanlagen, um mehr Leistung durch den Filament zu leiten, ohne dass die Lampe dadurch größer wird. Dadurch bleibt der Platzbedarf der Maschine minimal.
Aber Vorsicht: Wenn man 2000 Watt oder mehr in einen kompakten Raum steckt, entsteht viel Belastung auf die Kühlsysteme. Wenn die Luftzufuhr nicht perfekt reguliert wird, können die umliegenden Sensoren beschädigt werden.
Reinheit und Verbindbarkeit
In diesem Bereich ist Kontamination ein großes Problem. Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass die Produktqualität verschlechtert wird. Deshalb verwenden wir hochreinen Quarz sowie spezielle Beschichtungen. Dadurch wird das Ausgasen während des Heizvorgangs verhindert – somit bleibt die Umgebung sauber.
Diese Lampen sind außerdem kein einfaches „Plug-and-Play“-Gerät. Sie sind speziell für die Datenverarbeitung konstruiert. Wenn man sie mit präzisen PID-Controllern kombiniert, kann man jeden Heiz- und Kühlvorgang direkt im MES überwachen. Dadurch wird das thermische Profil in echte Daten umgewandelt. Zudem kann man erkennen, wenn eine Lampe langsam versagt – bevor sie eine ganze Produktionscharge ruiniert. Das ist eine große Erleichterung für alle, die eine Fabrik betreiben.
Einfache Integration in die Fabrik
Die Installation dieser Lampen in einer intelligenten Fabrik ist eigentlich recht einfach. Wir verwenden standardisierte Anschlüsse – dadurch passt alles perfekt zusammen, auch unter den Vibrationen einer betriebsbereiten Anlage.
Das Beste daran: Die Geschwindigkeit. Infrarotstrahlung erreicht das Ziel fast sofort. Dadurch verkürzen sich die Zykluszeiten – und es wird keine Energie verschwendet. Es handelt sich dabei um eine schnellere und effizientere Art, die Produktion zu steuern.