In der Fertigungshalle stellt die thermische Drift während des Weichbrennvorgangs oder beim Trocknen der Wafer nicht nur ein Problem dar – sie verändert außerdem die wichtigen Abmessungen der Wafer und hinterlässt Rückstände, die wiederum zu Produktverlusten führen. Wir haben daher Infrarotheizkörper mit schneller Reaktionszeit entwickelt, um diese Drift bereits an der Quelle zu beseitigen.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden kurzwellige Infrarot-Halogenelemente in Quarzkapseln – dadurch entsteht eine hohe Strahlungsdichte bei einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. In der aktiven Zone bleibt die Temperatur der Wafer auf ±0,1°C konstant, und die Genauigkeit der Einstelltemperatur liegt nach dem thermischen Prozess weiterhin bei ±0,5°C. Die Leistung bleibt vom Start bis zum stabilen Betriebszustand konstant – es gibt keine Hotspots, die den Fluss des Fotorezysts beeinträchtigen könnten. Die Heizkörper sind für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet. Dabei werden Materialien verwendet, die eine möglichst geringe Partikelbildung gewährleisten. Man kann mit mehr als 5.000 Betriebsstunden rechnen, wobei der Leistungsverlust weniger als 5% beträgt – selbst bei 24/7-Betrieb.
Warum das in der Praxis funktioniert:
Bei der Lithografie legt der Weichbrennvorgang das Profil des Fotorezysts fest, während der Hartbrennvorgang dieses Profil festhält. Unsere Infrarotheizung verringert die thermische Verzögerung schnell – dadurch können Lösungsmittel abgeführt werden, ohne dass das Filmmaterial kocht. Diese Geschwindigkeit hilft auch beim Reinigen: Das Trocknen der Wafer erfolgt schnell und gleichmäßig, wodurch Wasserzeichen vermieden werden und eine bessere Kontrolle über die Oberflächenenergie möglich ist. Der Vorteil: kürzere Prozesszeiten, weniger Nacharbeiten und weniger Ausschuss. Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer kühler arbeitet und die Einstelltemperatur schneller erreicht wird als bei herkömmlichen Heizplatten.
Was man berücksichtigen sollte:
Für die Installation ist eine präzise optische Ausrichtung sowie ein geeigneter Reflektor erforderlich – falsche Ausrichtung führt zu Unebenheiten auf der Waferoberfläche. Zudem benötigen die Heizkörper sauberen Strom – Spannungsfluktuationen und transiente Effekte führen zu Unregelmäßigkeiten in der Leistung. Verwenden Sie daher einen geschützten Stromspeiser und überprüfen Sie vor dem Einsatz die Ausrüstung hinsichtlich der gewünschten Temperaturen.