V provozu výroby může být odchylka teploty na horké desce o 0,5 °C během zahřívání fotorezisty dostatečná k tomu, aby narušila kontrolu šířky čar a přeměnila tak hotový výrobek na odpad. Je tedy potřeba mít měření teploty, které sleduje nastavenou hodnotu – a ne pouze body s nejvyšší teplotou u topného prvku.
Co je z technického hlediska důležité Vyrábíme termočlánky pro polovodičové topné prvky, abychom udrželi teplotní jednotnost na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C. Měřicí část se nachází tam, kde wafer skutečně vnímá teplotu, a ne tam, kde je nejvyšší teplota u topného prvku.
Konstrukce je určena pro čistárny třídy 1–100: nevytváří žádné částice a vydrží opakované teplotní cykly. Výstupní hodnota zůstává stabilní i během nepřetržitého provozu, což zajišťuje žádné neplánované přerušení provozu a předvídatelné intervaly údržby.
Proč to funguje v litografii V litografii musí modul zahřívání dosáhnout požadovaných teplot v rámci přesného teplotního rozsahu. Náš termočlánek udržuje přesný profil teploty, což snižuje variabilitu CD, zlepšuje vlastnosti fotorezistu a snižuje množství odpadu.
Přesnější kontrola také zkracuje dobu kalibrace a snižuje spotřebu energie tím, že zabrání nadměrnému zahřátí. Výsledkem je vyšší výtěžnost, méně oprav a možnost plánovat dobu provozu zařízení.
Na co je potřeba dávat pozor Přesnost instalace je velmi vysoká: sonda musí být umístěna ve správné hloubce a zarovnaná s rovinou waferu. Nesprávné zarovnání nebo špatný tepelný kontakt mohou zhoršit jednotnost teploty a způsobit odchylky.
Systém funguje s většinou typů topných prvků, ale při modernizaci je často potřeba použít speciální podporu a konektory. Uveďte model topného prvku a rozsah teplot vašeho procesu, abychom mohli přizpůsobit materiál obalu, izolaci a kalibrační křivku vašemu teplotnímu profilu.