V provozu výroby není termální posun během měkkého zahřívání nebo sušení čipů jen problémem – tento posun mění kritické rozměry a zanechává rezidua, která způsobují ztrátu výtěžnosti. Vytvořili jsme své rychle reagující infračervené topné žárovky právě proto, abychom tento posun odstranili hned u zdroje.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme halogenové prvky s krátkovlnným infračerveným zářením umístěné v kvartových obalech – díky tomu dosahujeme vysoké hustoty záření s reakcí během několika sekund. V aktivní zóně zůstává teplota čipu konstantní v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavené teploty zůstává v rozmezí ±0,5 °C i po termálním zahřátí. Výkon zůstává stabilní od počátečního stavu až do ustáleného stavu – nevznikají žádné „horké body“, které by narušily průtok fotoresistu. Žárovky jsou navrženy pro použití v prostorách s úrovní čistoty 1–100; jejich geometrie a materiály jsou takové, aby minimalizovaly vznik částic. Můžete očekávat více než 5 000 hodin provozu s úbytkem výkonu menším než 5 %, dokonce i při nepřetržitém provozu 24/7.
Proč to v praxi funguje
V procesu litografie určuje měkké zahřívání profil fotoresistu, zatímco tvrdé zahřívání ho ustálí. Naše infračervené topné zařízení rychle snižuje teplotu, takže rozpouštědla mohou odejít bez varu filmu. Stejná rychlost pomáhá i po čištění – sušení čipů probíhá rychle a rovnoměrně, což eliminuje vodní skvrny a umožňuje lepší kontrolu nad povrchovou energií. Výsledkem jsou kratší procesní cykly, méně oprav a méně odpadu. Spotřeba energie klesá, protože topné zařízení zůstává chladnější a rychleji dosahuje nastavené teploty ve srovnání s konvenčními topnými deskami.
Na co je potřeba se připravit
Instalace vyžaduje přesné optické zarovnání a speciální odrazovou cestu – nesprávné zarovnání se projeví jako nerovnoměrnosti na povrchu čipu. Žárovky také vyžadují čistý napájecí proud; výkyvy napětí a přechodné situace způsobují nestabilitu výkonu. Použijte izolovaný napájecí zdroj a ověřte fungování zařízení v souladu s požadavky vašeho procesu, než ho začnete používat.