V průběhu procesu dojde k posunu teploty o 0,2 °C a fotoresistent začne fungovat jinak. Jednotnost teploty na povrchu čipu se zhoršuje. Nárůst počtu oprav. V litografii není termická stabilita volitelným parametrem – je to samotná podstata procesu.
Co je důležité uvnitř zařízení
Náhradní teplovzdušný ohřívač Leybold je vyroben s využitím krátkovlnných infračervených prvků a termické konstrukce na bázi křemíku, která zajišťuje jednotnost teploty na povrchu čipu na úrovni ±0,1 °C. Tělo ohřívače je navrženo tak, aby zajistilo vakuumovou integritu, s odpovídajícími spoji a izolovanými konektory, které zabrání úniku plynů a vzniku částic. Odpor a geometrie ohřívače jsou upraveny tak, aby hustota výkonu zůstala stabilní při napětí, které komora očekává, a aby opakovatelnost teploty zůstala v rámci stanovených limitů pro pokročilé fotoresistory.
Proč to funguje v průběhu výroby
Pomocí tenkého a silného ohřívání v vakuu lze kontrolovat odstraňování rozpouštědel a proudění fotoresistoru. Díky tomuto náhradnímu zařízení zůstává nastavená teplota stejná cyklus za cyklem, takže kontrola šířky linie a hustota vad nekolísají. Kompatibilita s prostředím třídy 1–100 zůstává zachována, protože materiály a spoje jsou vybrány s ohledem na nízkou míru tvorby částic. Design zařízení také zabraňuje termickému opadávání vrstev. Výsledkem je méně problémů, stabilní výkon a možnost plánování údržby.
Detaily, které vás uchrání před potížemi
Je nutné precizně sladit náhradní zařízení s komorou. Před demontáží starého zařízení je potřeba ověřit typ spojů, uspořádání pinů a umístění termického spojovacího prvku. Jinak teplota nezůstane na požadované úrovni. Po instalaci je potřeba krátký čas na přizpůsobení se teplotní dynamice komory; poté se jednotnost a opakovatelnost teploty ustálí.