Kvartový halogenový infračervený vysílač
V procesu litografie stačí poloviční odchylka v parametrech profilu „Soft Bake“, aby došlo k narušení kontroly kritických rozměrů. Odstraňování...
Halogenová lampa pro systém RTP
V prostředí výroby může nárůst teploty o 0,2 °C během zahřívání fotorezisty potají snížit kvalitu výsledného výrobku. V systémech RTP není tato lampa...