在制造过程中，光刻胶烘烤时，加热板上的温度若出现0.5°C的偏差，就足以破坏线条宽度的精确控制，导致产品报废。因此，必须使用能够准确反映设定温度的传感器——而不是那些只反映加热器局部温度的传感器。
从技术层面来看，关键点在于： 我们为半导体加热器设计的热电偶能够确保晶圆表面的温度均匀性保持在±0.1°C以内，同时还能保证不同批次产品之间的温度一致性。传感节点位于晶圆实际接触温度的位置，而非加热器温度最高的部位。
该组件适用于1级到100级的洁净室环境：它不会产生任何颗粒物，而且能够承受反复的温度变化。其输出信号在24/7持续运行时依然稳定，从而避免非计划性的停机时间，同时也有助于规划合理的维护间隔。
为什么这能在光刻工艺中发挥作用？ 在光刻过程中，烘烤模块需要以精确的控制方式来实现软烘烤和硬烘烤。我们的热电偶能够确保温度控制的精确性，从而减少CD值的波动，提升光刻胶的性能，进而降低产品报废率。
更精准的温度控制还能缩短产品测试时间，同时通过防止温度过高来降低能耗。这样一来，就能提高产量，减少返工次数，让设备能够更稳定地运行。
需要注意的事项： 安装精度要求很高：探针必须准确地位于指定的位置，并与晶圆平面保持平行。如果安装不当或热接触不良，就会导致温度均匀性下降，从而引发误差。
该系统可以与大多数加热器配合使用，但在进行改造时通常需要定制支架和连接器。请明确告知加热器型号以及所需的工艺温度范围，这样我们就能选择合适的绝缘材料、校准曲线等，以适应您的特定需求。