在半成品加工过程中，如何精确控制温度至关重要。如果你曾经处理过晶圆，就会知道晶圆出现变形或污染的问题有多糟糕。而解决这个问题的关键，就在于温度控制。
为了解决这个问题，我们使用红外灯以及金制反射器。这样做的目的很简单：让热量准确地传递到需要的地方，避免浪费能量去加热腔室中的其他区域。
为什么选择黄金？ 大多数人最初会选用铝制反射器，但铝的缺点是它会吸收过多的能量。而黄金则不同，它可以将98%以上的红外辐射反射回去。这样一来，热量就不会散失在灯体中，而是形成一束集中的热光。这无疑是一种双赢的局面——虽然可以降低灯具的功率，但仍能将温度控制在理想范围内。
“绿色工厂”的理念 我们都听说过碳中和的概念，但在制造厂里，这意味着每块晶圆所需的能耗要更少。当使用金制反射器后，不仅可以节省电力，还能减轻空调系统的负担。因为减少了热量泄漏，所以空调系统不必过度工作来维持室温。
需要注意的要点 虽然黄金很棒，但它也需要精心维护。无论如何，都不要用具有研磨性的清洁剂来擦拭反射器表面。一旦不小心刮伤了涂层，其反射性能就会下降。此外，还需要定期清理反射器，以防灰尘堆积。如果反射器变脏了，热量分布就会不均，从而导致晶圆上出现局部过热或过冷的情况。
最后一点：要注意电压问题。电压波动很容易损坏灯丝。在接线时，确保控制器能够跟上短波红外线的节奏。如果控制器反应不够快，那么在系统察觉到问题之前，温度就已经超出了控制范围。