На виробничому приміщенні навіть зміна температури на 1°C під час процесу висушування фотополімеру достатня, щоб змінити ширину ліній на кілька нанометрів – а це означає велику кількість продукції, яку доводиться відкинути. Не потрібно постійно контролювати температуру; достатньо лише підтримувати її на необхідному рівні. Ми створили спеціальні елементи нагріву для напівпровідникових приладів, які дозволяють точно контролювати температуру безпосередньо на самому пластині, а не лише на заданому рівні.
Що є важливим у цьому елементі
Елемент використовує галогенові випромінювачі короткохвильового інфрачервоного випромінювання у кварцовому корпусі, тож швидкість нагріву є високою, а контроль температури – точним. Важливим параметром є однорідність температури на всій поверхні пластини: ±0,1°C, виміряне безпосередньо на місці. Елемент може функціонувати в чистих приміщеннях класу 1–100, не створюючи додаткових частинок; це забезпечується системою моніторингу всередині приміщення. Повторюваність результатів залишається в межах ±0,2%, навіть при постійній роботі протягом 24/7. Термічна реакція елемента оптимізована для процесів м’якого та жорсткого висушування фотополімеру. Елемент може використовуватися з пластинами діаметром 200/300 мм, при стандартній напрузі, а його компактні розміри дозволяють встановлювати його в обладнання OEM-виробників.
Чому елемент підходить для використання на виробництві
У процесах літографії та упакування цей елемент дозволяє підтримувати потрібні параметри температури, що дозволяє уникнути необхідності повторної обробки продукції. Висока однорідність температури зменшує похибки між окремими частинами пластини та підвищує якість продукції. Процеси нагріву є швидкими та стабільними, що скорочує час обробки однієї партії продукції. Компактний дизайн елемента дозволяє зменшити кількість частинок у приміщенні, що, у свою чергу, зменшує кількість несправностей та сигналів тривоги. Використання елемента дозволяє оптимізувати витрати енергії завдяки точному підбору емітерів та низькій тепломасі, що знижує вартість однієї пластини. При необхідності заміни елемента його можна замінити без необхідності розбирання процесного приміщення, що зменшує час простою обладнання.
На що потрібно звернути увагу
Необхідно використовувати відповідні кріплення та захисні елементи, щоб уникнути поширення зайвого тепла на оптичні елементи та полімери. Існує період прогріву перед досягненням необхідної температури – його потрібно врахувати під час планування технічного обслуговування. Для досягнення найкращої стабільності необхідно дотримуватися вказаних значень напруги та контролювати температуру навколишнього середовища. Ми підтримуємо інтеграцію цього елемента з основними платформами OEM-виробників, але перед використанням необхідно проконсультуватися з командою, яка займається обладнанням.