На лінії прогріву (burn-in) стабільність температури — це не бажання, а жорстка вимога. Зсув на кілька градусів призведе до погіршення параметричного виходу, а нерівномірність прогріву фоторезисту з’їсть ваш жорсткий бюджет литографії та перетворить добрі пластини на брак. Ми розробили нагрівальні лампи для прогріву пластин так, щоб забезпечувати стабільне теплове поле зміну за зміною.
Основний принцип простий. Короткохвильові галогенові елементи в кварцових колбах забезпечують швидке, пряме випромінювальне тепло з точним спектральним контролем, що відповідає профілю поглинання кремнію та шарів фоторезисту, які ви використовуєте. Інтегровані сенсори NIR замкнуть контур у реальному часі, підтримуючи однорідність по пластиною з точністю ±0,1°C у активній зоні.
Корпус лампи розроблений для чистих приміщень класу 1–100 — матеріали з низьким рівнем виділення газів та кожух з ламінарним потоком повітря, що забезпечує нульове генерування часток у стабільному режимі. Відтворюваність виходу краща за 0,2% між циклами, тому профілі софт-бейку та хард-бейку залишаються стабільними між партіями та інструментами.
Саме тому ця лампа підходить для прогріву (burn-in) і тестування на рівні пластин. Ви отримуєте швидші темпи підйому температури без перенапружень, стабільні температури витримки навіть при високій щільності завантаження та теплові профілі, які можна переносити між машинами без повторного налаштування. Енергоспоживання знижується, оскільки тепло подається безпосередньо, а непланові простої мінімізуються завдяки конструкції для безперервної роботи 24/7.
Заміна модулів дозволяє мінімізувати час простою обладнання під час сервісного обслуговування.
Встановлення специфічне для інструменту: плануйте точне оптичне вирівнювання, монтаж відповідно до класу чистої кімнати та захоплення відпрацьованих газів, що контролює локальне теплове навантаження. Лампа працює найкраще, коли відстань до цілі та емісивність залишаються постійними. Якщо ви змінюєте шар фоторезисту або кріплення, потрібно швидко переналаштувати карту встановлених точок, щоб підтримувати однорідність у межах специфікації.