На поверхні плити для випалювання фотополімеру навіть незначна зміна температури у розмірі 0,5°C може призвести до порушення контролю товщини ліній на поверхні пластини, що у свою чергу робить продукцію непридатною до використання. Існує необхідність у точному вимірюванні температури, яке має відповідати заданому значенню – а не параметрам окремих ділянок нагрівача.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створюємо термопари для напівпровідникових нагрівачів, щоб забезпечити температурну однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C, а також стабільність параметрів протягом усього процесу виробництва. Елемент вимірювання розташовується там, де саме пластина сприймає температуру, а не там, де є найвищі температури на поверхні нагрівача.
Цей пристрій призначений для використання в чистих кімнатах класу 1–100: він не створює частинок пилу та може витримувати багаторазові цикли нагрівання та охолодження. Вихідні дані залишаються стабільними протягом 24/7, що дозволяє уникнути непланових перерв у роботі та забезпечує передбачувані інтервали технічного обслуговування.
Чому це ефективно у літографії
У процесі літографії необхідно точно контролювати температуру під час випалювання фотополімеру. Наші термопари забезпечують точний контроль температури, що дозволяє зменшити варіації товщини ліній на поверхні пластини, покращити якість фотополімеру та зменшити кількість відходів.
Кращий контроль також скорочує час на налаштування обладнання та зменшує споживання енергії. Це призводить до підвищення якості продукції, меншої кількості повторних процедур та можливості планування часу роботи обладнання.
Що необхідно врахувати під час встановлення
Тolerанції під час встановлення є дуже високими: зонд має розташовуватися на точній глибині та бути симетрично розташованим відносно площини пластини. Несиметричне розташування чи поганий тепловий контакт можуть призвести до зниження однорідності температури та появи похибок.
Ця система підходить для більшості типів нагрівачів, але для деяких моделей може знадобитися спеціальна кріплення та з’єднувач. Будь ласка, вкажіть модель нагрівача та діапазон температур вашого процесу, щоб ми могли підібрати відповідний матеріал для оболонки, ізоляції та криву калібрування.