반제품의 온도를 정확하게 조절하는 방법
웨이퍼를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼가 변형되거나 오염되는 문제가 얼마나 골치 아픈지 잘 알 것입니다. 이 문제는 결국 온도 조절과 관련이 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 램프와 금으로 만들어진 반사체를 함께 사용합니다. 목표는 간단합니다. 열을 정확히 필요한 곳에 집중시켜서, 반응실의 나머지 부분을 불필요하게 가열하는 것을 막는 것입니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수합니다. 반면 금은 그렇지 않습니다. 금은 적외선의 98% 이상을 반사합니다. 그래서 열이 램프 본체로 들어가는 대신, 매우 집중된 광선이 생성됩니다. 이는 상호 이익이 되는 방식입니다. 램프의 와트 수를 줄여도 여전히 웨이퍼의 목표 온도를 유지할 수 있습니다.
“친환경 공장”의 관점
우리 모두 탄소 중립에 대해 들어본 적이 있겠지만, 실제로는 웨이퍼당 소비되는 전력량을 줄이는 것을 의미합니다. 금으로 만든 반사체를 사용하면 램프 자체에서 에너지를 절약할 뿐만 아니라, HVAC 시스템도 더 효율적으로 작동할 수 있습니다. 클린룸으로 들어오는 열이 줄어들기 때문에, 공기 조절 시스템도 과도하게 작동할 필요가 없습니다.
단점들 (“주의해야 할 사항들”)
금은 훌륭하지만, 관리가 조금 까다롭습니다. 어떤 경우에도 표면을 마모시키는 세정제를 사용해서는 안 됩니다. 잘못된 세척으로 인해 코팅이 손상되면 반사율이 떨어집니다. 먼지가 쌓이지 않도록 꾸준한 청소가 필요합니다. 반사체가 더러워지면 열이 제대로 분배되지 않아 웨이퍼에 고르지 않은 온도가 생깁니다.
마지막으로, 전력 사용에도 주의해야 합니다. 전압 스파이크가 발생하면 필라멘트가 금방 손상될 수 있습니다. 또한, 모든 연결을 할 때는 컨트롤러가 단파 적외선의 속도를 따라갈 수 있는지 확인해야 합니다. 만약 컨트롤러의 속도가 느리다면, 시스템이 상황을 인지하기도 전에 온도가 너무 높아질 수 있습니다.