Comment obtenir la température idéale dans les usines de semi-conducteurs
Si vous avez déjà travaillé avec des wafer, vous connaissez bien le problème posé par les déformations ou les contaminations. En général, cela vient d’un seul facteur : le contrôle de la température.
Pour y remédier, nous utilisons des ampoules infrarouges associées à des réflecteurs en or. L’objectif est simple : diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire, tout en évitant de gaspiller de l’énergie à chauffer le reste de la chambre.
Pourquoi l’or ?
La plupart des gens commencent par utiliser de l’aluminium, mais cela présente un inconvénient : l’aluminium absorbe trop d’énergie. L’or, quant à lui, renvoie plus de 98 % de cette radiation infrarouge. Ainsi, la chaleur est dirigée de manière ciblée, sans que l’énergie ne soit gaspillée. C’est donc une solution gagnante : on peut réduire la puissance des lampes tout en atteignant les températures souhaitées sur le substrat.
L’aspect écologique
Nous entendons souvent parler de neutralité carbone, mais dans une usine de semi-conducteurs, cela signifie simplement utiliser moins d’énergie par wafer. En utilisant des réflecteurs en or, on économise non seulement de l’énergie, mais on facilite également le travail du système de climatisation. Moins de chaleur s’échappe dans la salle propre, ce qui permet au système de climatisation de fonctionner plus efficacement.
Les compromis à prendre en compte
L’or est certes excellent, mais il nécessite un entretien particulier. Il est absolument interdit d’utiliser des produits nettoyants abrasifs sur sa surface. Un seul passage incorrect peut endommager le revêtement, ce qui entraîne une perte de réflectivité. Il est donc important de suivre un calendrier de nettoyage rigoureux pour éviter l’accumulation de poussière. Si les réflecteurs se salissent, la chaleur se répartit de manière inégale, ce qui provoque des zones trop chaudes ou trop froides sur le wafer.
Un dernier conseil : faites attention à la tension électrique
Des pics de tension peuvent endommager rapidement les filaments des lampes. De plus, lors de l’installation des câbles, assurez-vous que les régulateurs de tension soient capables de suivre le rythme rapide des ondes infrarouges. Sinon, la température pourrait dépasser les limites souhaitées avant même que le système ne s’en rende compte.