Protéger les équipements lorsqu’on utilise des lampes infrarouges à proximité de produits chimiques explosifs
Lorsque l’on nettoie des semi-conducteurs, on joue avec le feu – littéralement. Ces solvants sont inflammables, et dans certains cas, même explosifs. Si l’on utilise une lampe infrarouge ordinaire dans cet environnement, c’est comme si l’on cherchait délibérément à provoquer un désastre.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges à courte longueur d’onde, recouvertes d’or. Elles ont été conçues spécialement pour ces environnements à haut risque, afin de permettre le chauffage des wafer sans craindre que tout ne explose.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas pour donner un aspect luxueux à la lampe. Nous mettons un fin voile d’or sur le tube en quartz, afin qu’il agisse comme un miroir. Cela permet aux rayons infrarouges de se diriger vers le wafer, tout en empêchant leur fuite vers l’extérieur. Ainsi, on atteint plus rapidement les températures souhaitées. Mais il y a un inconvénient : comme la lampe génère beaucoup d’énergie, elle devient très chaude. Nous utilisons donc du quartz de haute pureté, afin que la lampe ne s’éteigne pas dès son allumage.
Gérer le risque d’explosion
Le vrai problème, c’est l’air. Les vapeurs chimiques sont dangereuses : si elles entrent en contact avec une surface chaude ou si elles rencontrent une étincelle électrique aux bornes de la lampe, cela peut provoquer une explosion. Pour éviter cela, nous enveloppons les lampes dans du verre en quartz ou en saphir. Nous les scellons hermétiquement, afin d’empêcher les gaz dangereux d’entrer et de maintenir les gaz inerts à l’intérieur. Nous utilisons également des joints et des connecteurs résistants à la chaleur. Si le sceau échoue, la lampe devient alors un véritable danger. C’est pourquoi nous adaptons les boîtiers aux produits chimiques spécifiques que l’on utilise dans nos usines.
Les compromis
Ces lampes ne sont pas simples à installer. Comme elles sont scellées dans du verre, elles sont plus volumineuses et plus lourdes que des lampes ordinaires. On ne peut pas simplement les placer dans les supports existants. Il faudra probablement modifier les supports de fixation. De plus, il est important de veiller au refroidissement correct de la lampe. Si les ventilateurs ne parviennent pas à faire circuler suffisamment d’air, la chaleur s’accumule à l’intérieur du boîtier, ce qui réduit la durée de vie de la lampe. Il faut donc planifier davantage, mais c’est bien mieux que de risquer une explosion.