حفظ ایمنی در هنگام استفاده از لامپهای مادون قرمز در کنار مواد شیمیایی منفجره
هنگام تمیز کردن نیمههادیها، در واقع در حال کار با مواد خطرناک هستید. آن حلالها قابل اشتعال هستند؛ در برخی موارد حتی منفجرنده نیز میباشند. اگر یک لامپ مادون قرمز معمولی را در آن محیط استفاده کنید، در واقع خودتان مسبب فاجعه میشوید.
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز با پوشش طلا استفاده میکنیم. این لامپها به طور ویژه برای این مناطق پرخطر ساخته شدهاند؛ تا بتوانید ویفرها را گرم کنید، بدون اینکه نگران انفجار کل سیستم باشید.
چرا طلا؟
دلیل استفاده از طلا، ظاهر زیبا نیست؛ بلکه به این دلیل است که یک لایه نازک طلا روی لوله کوارتز قرار میگیرد تا مانند آینه عمل کند. این لایه انرژی مادون قرمز را به سمت ویفرها هدایت میکند و جلوی خروج آن انرژی از پشت لامپ را میگیرد.
این کار باعث میشود که دمای مورد نظر به سرعت دستیابی شود. اما یک مشکل وجود دارد: چون لامپ انرژی زیادی تولید میکند، داغ میشود. ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم تا لامپ در همان لحظه روشن شدن خراب نشود.
مقابله با خطرات ناشی از انفجار
مشکل واقعی، هواست. بخارات شیمیایی بسیار خطرناک هستند؛ اگر به سطح داغ برخورد کنند یا یک جرقه الکتریکی در ترمینالهای لامپ ایجاد شود، مشکلاتی پیش خواهد آمد.
برای جلوگیری از این مشکل، لامپها را در لولههای کوارتز یا الماسی قرار میدهیم. این لولهها به طور کامل بسته میشوند تا گازهای خطرناک وارد نشوند و گازهای خنثی داخل باقی بمانند.
همچنین از فنرها و اتصالات مقاوم استفاده میکنیم تا بتوانند گرما را تحمل کنند. اگر اتصالات دچار مشکل شوند، لامپ مانند یک فیوز عمل خواهد کرد. به همین دلیل، غلاف لامپ را به گونهای طراحی میکنیم که بتواند با مواد شیمیایی خطرناکی که استفاده میکنید، کنار بیاید.
مزایا و معایب
البته این لامپها قابل استفاده ساده نیستند؛ چون درون لولههای شیشهای قرار دارند، حجم و وزن بیشتری دارند. نمیتوانید آنها را مستقیماً در قفسههای موجود قرار دهید.
احتمالاً نیاز خواهد بود که قفسههای مربوطه را تغییر دهید. همچنین باید مراقب سیستم خنککنندگی لامپ باشید؛ اگر فنها هوای کافی را جابجا نکنند، گرما در داخل لامپ تجمع خواهد کرد و عمر لامپ کاهش خواهد یافت.
البته این روش نیاز به برنامهریزی بیشتری دارد، اما بهتر از روشهای دیگر است.