در خطوط بستهبندی سنسورهای هوشمند، نمیتوان اجازه داد که تغییرات دمایی رخ دهد. حتی یک بار فرآیند پخت غیرصحیح، میتواند باعث کاهش کیفیت محصول شود؛ بنابراین ما یک سیستم حرارتی مبتنی بر امواج مادون قرمز ساختیم تا این تغییرات را از بین ببرد.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از فرستندههای نور مادون قرمز استفاده میکنیم که برای جذب نور توسط فوتورزیست تنظیم شدهاند؛ به این ترتیب، گرما به سرعت و بدون تماس با سطح ویفر منتقل میشود. در کل منطقه پخت، یکنواختی دمایی در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، با استفاده از سیستم پیرومتری، قابلیت تکرار فرآیند نیز تضمین میشود. بدنه گرمکن از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده است؛ بنابراین در حالت پایدار، هیچ ذرهای تولید نمیشود. این سیستم در اتاقهای پاکسازی درجه ۱-۱۰۰ نیز کار میکند، بدون اینکه مقدار ذرات افزایش یابد؛ همچنین، الگوی حرارتی در هر دسته محصول یکسان باقی میماند. چگالی انرژی نیز به گونهای تنظیم میشود که با محدودیتهای حرارتی فیلمهای نازک سازگار باشد؛ همچنین، زمان پاسخگویی سیستم نیز به گونهای است که فرآیند بدون تأخیر ادامه یابد.
چرا این سیستم برای بستهبندی سنسورهای هوشمند مناسب است؟
در این روش، از فیلمهای نازک و ساختارهای حساس استفاده میشود؛ بنابراین نیاز به دقت بالا در فرآیند پخت وجود دارد. با استفاده از این سیستم، فرآیند پخت به خوبی انجام میشود؛ در نتیجه، تعداد محصولات باکیفیت بالاتر میشود و کنترل ابعاد محصول نیز بهتر میشود. همچنین، این سیستم باعث کاهش مصرف انرژی میشود؛ زیرا گرمایش فقط در زمان لازم انجام میشود و سرعت خنک شدن نیز بالاست. قابلیت اطمینان این سیستم برای کار ۲۴ ساعته فراهم است؛ همچنین، عمر فرستندهها نیز زیر نظر است تا دما در محدوده مشخصی باقی بماند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
برای نصب این سیستم، نیاز به منبع تغذیه پاک و سطحی پایدار برای نصب آن وجود دارد. فرستندهها نسبت به عدم تطابقات ساختاری حساس هستند؛ بنابراین، اگر تطابقات صحیح نباشد، میتوان تأثیرات منفی روی لبههای ویفر مشاهده کرد. برای تنظیم پارامترهای فرآیند، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد؛ سپس پارامترها را در برنامه کنترلی خود ثبت کنید. پس از تطبیق، فرآیند قابل تکرار خواهد بود؛ اما نیاز به بازرسیهای دورهای برای تنظیم دقیق دستگاه وجود دارد.