در خطوط تولید، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود؛ این امر منجر به هدررفت مقدار زیادی محصول میشود. بنابراین، نباید دما را تغییر داد؛ بلکه باید آن را ثابت نگه داشت. ما عنصر گرمایشی مورد استفاده در این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که کنترل دما روی ویفر انجام شود، نه فقط در سطح مشخص شده.
چه چیزی اهمیت دارد؟
این عنصر از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج در بدنه کوارتزی استفاده میکند؛ بنابراین سرعت تغییر دما بالا بوده و کنترل دما در حالت پایدار نیز دقیق است. چیزی که اهمیت دارد، یکنواختی دما در سراسر ناحیه فعال ویفر است؛ این مقدار باید بین ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. این دستگاه میتواند در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ کار کند، بدون اینکه ذراتی ایجاد شود؛ همچنین، نظارت لازم بر عملکرد دستگاه نیز انجام میشود. تکرارپذیری خروجی دستگاه نیز در حد ±۰.۲٪ است، حتی در شرایط کار ۲۴/۷. پاسخ حرارتی دستگاه نیز به گونهای تنظیم شده که برای فرآیندهای پختن فوتورزیست مناسب باشد. این دستگاه میتواند برای ویفرهای ۲۰۰/۳۰۰ میلیمتری نیز استفاده شود؛ همچنین، ولتاژ استاندارد و اندازه کوچک آن، آن را مناسب برای استفاده در دستگاههای تولیدی میکند.
چرا این دستگاه در تولید موفق عمل میکند؟
در خطوط لیتوگرافی و بستهبندی، این دستگاه باعث میشود که پروفایلهای پختن فوتورزیست در محدوده مشخص شده باقی بمانند؛ بنابراین نیازی به بازسازی محصولات نیست. یکنواختی دما، خطایات ناشی از تفاوت دما در سراسر ویفر را کاهش میدهد؛ این امر به بهبود بازدهی تولید کمک میکند. چرخههای کاری دستگاه سریع و پایدار هستند؛ بنابراین زمان لازم برای تولید هر دسته از محصولات کاهش مییابد. همچنین، طراحی این دستگاه به گونهای است که با شرایط اتاقهای پاکسازی سازگار باشد؛ بنابراین تعداد ذرات ایجاد شده کم میشود، و در نتیجه تعداد هشدارها نیز کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز به دلیل تطبیق دقیق فرستندهها و کاهش جرم حرارتی، بهینه شده است؛ این امر هزینه تولید هر ویفر را کاهش میدهد. هنگامی که نیاز به تعویض دستگاه باشد، میتوان آن را بدون نیاز به تعمیر کل سیستم، جایگزین کرد؛ بنابراین زمان توقف غیرمنتظره دستگاه کاهش مییابد.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
برای جلوگیری از انتقال گرما به اجزای نوری و پلیمری، نیاز به استفاده از سوکتهای مناسب و سیستمهای محافظتی وجود دارد. قبل از رسیدن به یکنواختی مورد نظر، نیاز به یک دوره گرم شدن وجود دارد؛ این موضوع باید در برنامههای نگهداری دستگاه لحاظ شود. برای داشتن پایداری بیشتر، باید از ولتاژهای مشخص شده استفاده کرد و دمای محیط را نیز کنترل کرد. ما از ادغام این دستگاه با پلتفرمهای تولیدی مختلف حمایت میکنیم؛ اما قبل از استفاده، باید مسیرهای اتصال و سیستمهای خنککننده را توسط تیم تجهیزات خود بررسی کرد.