Infrarotheizung gegen Warmluft: Hören Sie auf, Zeit mit den Wafern zu verschwenden! Denken Sie darüber nach, wie Warmluft funktioniert: Zunächst wird...

Warum wir heiße Luft durch Infrarotstrahlung ersetzen Wenn man versucht, den Prozess derbearbeitung von Halbleitern zu beschleunigen, muss man...

Die richtige Hitze im Produktionsprozess erzielen Wenn Sie schon einmal mit der Aushärtung von Wafern zu tun hatten, kennen Sie sicherlich das...

MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist eine heikle Aufgabe. Es muss schnell gehen, damit die Spülflüssigkeit...

Die richtige Wärmeabgabe in der Smart Fab Wenn Sie eine Smart Fab für Industrie 4.0 planen, haben Sie vermutlich bereits erkannt, dass die alte...

Präzise Infrarotlampen für die Waferverarbeitung Stellen Sie sich vor: Sie sind mitten in der Waferproduktion – die Anlage arbeitet reibungslos – und...

Auf der Burn-in-Linie ist Temperaturstabilität keine Präferenz – sie ist eine harte Vorgabe. Eine Drift von nur wenigen Grad kann die parametrische...

Auf der Lithografie-Ebene lernt man schnell, dass eine Drift von 0,5 °C bei der Backtemperatur kritische Abmessungen um Nanometer verschiebt – und so...