Präzise Infrarotlampen für die Waferverarbeitung
Stellen Sie sich vor: Sie sind mitten in der Waferproduktion – die Anlage arbeitet reibungslos – und plötzlich geht eine Lampe kaputt. Das ist nicht nur ein kurzfristiger Ausfall, sondern eine Katastrophe. Es besteht die Gefahr einer Ausbreitung von Kontaminationen überallhin, was dazu führen kann, dass die gesamte Anlage stillgelegt werden muss.
Wir haben unsere präzisen Infrarotlampen so konzipiert, dass dieser Albtraum gar nicht erst beginnt. Unser Ziel ist es, eine starke, kontrollierbare Wärmeabgabe zu gewährleisten – während die Wafer dabei absolut sauber bleiben.
Leistung und Größe: Geeignet für anspruchsvolle Anwendungen
Diese Lampen wurden speziell für die hohen thermischen Anforderungen bei der Waferverarbeitung entwickelt. Wir haben sie mit einer Eingangsspannung von 400 V ausgestattet, damit sie perfekt zu Ihrer industriellen Stromversorgung passen. Der Vorteil: Weniger Belastung für die Verkabelung sowie deutlich geringere Spannungsabfälle – selbst bei langen Leitungsstrecken. Dadurch entsteht eine stabile Strahlung und eine konstante Leistung – auch dann, wenn die Lampe auf Hochtouren läuft.
Mit einem 300-mm-Rohr und 2500 W Leistung erhalten Sie hohe Wärmeentwicklung in kompaktem Format. So können Sie die Heizzone verkleinern, ohne die Geschwindigkeit zu verringern.
Sicherheit, die man spürt
Im Inneren verwenden wir ein Kurzwellen-Halogenelement, das in Quarz eingebettet ist. Dadurch erhalten Sie zwei Vorteile: Eine schnelle Startzeit sowie eine präzise Temperaturregelung – beides ist entscheidend, um die Integrität der Wafer zu schützen.
Aber das Wichtigste: Der Quarzkörper ist mit einer Schicht gegen Implosionen versehen. Falls der Druck zu hoch wird, fängt diese Schicht die Fragmente auf. Keine Splitter landen im Inneren der Kammer – somit haben Sie keine Sorgen mehr.
Der R7s-Anschluss kann hohe Ströme bewältigen und sorgt außerdem für eine stabilen, vibrationsfesten Aufbau. Dadurch entstehen keine Hotspots und keine frühzeitige Zerstörung der Lampe.
Reale Leistung – ohne Überraschungen
In der Produktion ist diese Lösung die ideale Antwort auf das Risiko einer Kontamination durch defekte Lampen. Sie erhalten die benötigte Wärmestärke für eine hohe Produktivität – doch es gibt einen Kompromiss: Ihr Kühlsystem muss den Anforderungen gerecht werden. Ohne ausreichende Kühlung führt die hohe Leistungsdichte dazu, dass die Umgebungstemperatur steigt und die Lebensdauer der Lampe verkürzt wird.
Es handelt sich dabei um ein Komponente, die sofort einsatzbereit ist und den thermischen sowie sicherheitstechnischen Anforderungen bei der präzisen Waferheizung entspricht.