Trên dây chuyền kiểm tra burn-in, sự ổn định nhiệt độ không phải là một sở thích—nó là một ràng buộc nghiêm ngặt. Sự trôi dạt vài độ sẽ phá hủy hiệu suất tham số, và sự không đồng nhất trong quá trình nướng photoresist sẽ làm tiêu tốn ngân sách lithography chặt chẽ của bạn và biến những wafer tốt thành phế liệu. Chúng tôi đã thiết kế đèn nung wafer của mình để giữ cho trường nhiệt này ổn định, ca này qua ca khác.
Cốt lõi khá đơn giản. Các phần tử halogen sóng ngắn bên trong vỏ thạch anh cung cấp nhiệt bức xạ nhanh, trực tiếp với kiểm soát quang phổ chặt chẽ, phù hợp với hồ sơ hấp thụ của silicon và các lớp photoresist mà bạn sử dụng. Các cảm biến NIR tích hợp hoàn thành vòng phản hồi theo thời gian thực, giữ cho độ đồng nhất ở mức wafer là ±0.1°C trong khu vực hoạt động.
Thân đèn được chế tạo cho các phòng sạch Class 1–100—vật liệu ít bay hơi và một lớp vỏ luồng không khí laminar giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không trong trạng thái ổn định. Độ lặp lại đầu ra tốt hơn 0.2% từ chu kỳ này sang chu kỳ khác, vì vậy hồ sơ nướng mềm và nướng cứng của bạn giữ được sự nhất quán giữa các lô hàng và giữa các thiết bị.
Đó là lý do tại sao đèn này phù hợp cho kiểm tra burn-in và kiểm tra ở cấp độ wafer. Bạn có thể có tốc độ tăng nhiệt nhanh hơn mà không bị vượt quá, nhiệt độ ngâm ổn định ngay cả dưới tải trọng mật độ cao, và các hồ sơ nhiệt có thể chuyển giao giữa các máy mà không cần điều chỉnh lại. Việc tiêu thụ năng lượng giảm vì nhiệt được cung cấp trực tiếp, và thời gian ngừng hoạt động không kế hoạch giảm vì hệ thống được xây dựng cho chế độ hoạt động 24/7.
Các mô-đun có thể thay thế giúp bạn tối thiểu hóa thời gian ngừng hoạt động của thiết bị khi cần bảo trì.
Cài đặt cụ thể cho từng thiết bị: lập kế hoạch cho sự căn chỉnh quang học chính xác, lắp đặt đạt tiêu chuẩn phòng sạch, và thu hồi khí thải giữ cho tải nhiệt cục bộ nằm trong tầm kiểm soát. Đèn hoạt động tốt nhất khi khoảng cách mục tiêu và độ phát xạ giữ ổn định. Nếu bạn thay đổi các lớp wafer hoặc thiết bị, bạn sẽ cần hiệu chỉnh nhanh bản đồ điểm đặt để giữ độ đồng nhất trong giới hạn kỹ thuật.