Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, các bước sấy nóng và làm khô không đơn thuần chỉ là những bước xử lý nhiệt thông thường. Chúng chính là ranh giới giữa việc duy trì độ chính xác của mẫu in và việc phải tiến hành sửa chữa lại sản phẩm – điều mà chắc chắn ai cũng muốn tránh. Chất phủ quang học rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ; một sai số nhỏ cũng có thể khiến chất lượng mẫu in bị ảnh hưởng nghiêm trọng.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng đèn halogen sóng ngắn được đặt trong vỏ thủy tinh – loại đèn tạo ra nhiệt nhanh và khô, đồng thời ít tạo ra các hạt bụi. Tiêu chuẩn quan trọng nhất là độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer: ±0,1°C. Độ lặp lại của quy trình cũng được kiểm soát chặt chẽ, để mỗi lần sấy đều cho kết quả tương tự nhau.
Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch đạt tiêu chuẩn từ loại 1 đến 100, với mức độ tạo bụi bằng 0. Hệ thống có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định suốt 24/7, và chúng tôi theo dõi mức độ ổn định của quá trình trong hơn 5.000 giờ hoạt động. Lượng năng lượng tiêu thụ được kiểm soát ở mức cần thiết, không vượt quá giới hạn cho phép, nhờ đó việc kiểm soát nhiệt độ vẫn được duy trì ổn định.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình xử lý chất phủ quang học
Chúng ta cần một quy trình sấy đủ mạnh để loại bỏ chất dung môi, nhưng đồng thời không làm chất phủ quang học bị chảy hoặc tạo ra áp lực lên bề mặt wafer. Khi điều kiện này được kiểm soát chặt chẽ, độ chính xác của đường viền mẫu in sẽ được cải thiện, và hiện tượng xuất hiện các vết bẩn trên bề mặt wafer cũng giảm đi. Nhờ đó, việc đối chiếu mẫu in trở nên dễ dàng hơn.
Số lần sửa chữa giảm đi, hiệu suất sản xuất tăng lên – và bạn cũng sẽ tiết kiệm được năng lượng, vì đèn có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không vượt quá giới hạn.
Những gì bạn có thể mong đợi khi sử dụng thiết bị này
Đèn có thể được lắp đặt một cách dễ dàng, nhưng yếu tố quan trọng là mức độ tương thích giữa đèn và buồng xử lý. Dòng khí, độ chính xác trong việc lắp đặt, và khối lượng nhiệt đều rất quan trọng. Thời gian chuẩn bị thiết bị để hoạt động chỉ mất vài phút – chỉ cần điều chỉnh giá trị PID cho phù hợp với đặc tính của buồng xử lý.
Một khi thiết bị đã được điều chỉnh ổn định, nó sẽ hoạt động ổn định với ít bảo trì cần thiết. Tuy nhiên, tuổi thọ của đèn cũng có giới hạn; vì vậy bạn nên lên kế hoạch thay thế đèn từ trước để tránh những tình huống bất ngờ.