Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác trong quy trình sản xuất bán thành phẩm
Nếu bạn từng làm việc với các tấm wafer, chắc hẳn bạn đã trải qua những rắc rối do hiện tượng biến dạng hoặc nhiễm bẩn. Nguyên nhân chủ yếu là do việc kiểm soát nhiệt độ không tốt.
Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại kết hợp với các tấm phản xạ bằng vàng. Mục tiêu rất đơn giản: đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết, tránh lãng phí năng lượng để làm nóng phần còn lại của buồng sản xuất.
Tại sao chọn vàng?
Hầu hết mọi người thường chọn aluminum để làm tấm phản xạ, nhưng điều này có nhược điểm: aluminum hấp thụ quá nhiều năng lượng. Trong khi đó, vàng lại khác – nó phản xạ lại khoảng 98% bức xạ hồng ngoại. Nhờ vậy, nhiệt lượng không bị hấp thụ vào thân bóng đèn, mà được tập trung vào mục tiêu cần thiết. Đây chính là giải pháp tốt nhất. Bạn có thể giảm công suất của bóng đèn, nhưng vẫn đạt được nhiệt độ cần thiết trên các tấm wafer.
Khái niệm “Nhà máy xanh”
Chúng ta đều nghe về khái niệm tính trung hòa carbon, nhưng trong môi trường sản xuất, điều này có nghĩa là sử dụng ít kilowatt-hour hơn cho mỗi tấm wafer. Khi sử dụng tấm phản xạ bằng vàng, bạn không chỉ tiết kiệm năng lượng mà còn giúp hệ thống điều hòa không khí hoạt động hiệu quả hơn. Lượng nhiệt thoát ra khỏi phòng sạch cũng giảm, vì vậy hệ thống điều hòa không khí không cần phải hoạt động quá sức để duy trì nhiệt độ ổn định.
Những điều cần lưu ý
Vàng quả là vật liệu tuyệt vời, nhưng nó đòi hỏi sự chăm sóc kỹ lưỡng. Bạn tuyệt đối không được sử dụng các chất tẩy rửa có tính mài mòn lên bề mặt tấm phản xạ. Chỉ cần một lần tẩy rửa sai cách cũng đủ khiến lớp phủ trên tấm phản xạ bị hư hỏng, từ đó làm giảm khả năng phản xạ ánh sáng. Hãy duy trì lịch trình vệ sinh đều đặn để tránh bụi bám đầy trên tấm phản xạ. Nếu tấm phản xạ bị bẩn, nhiệt lượng sẽ không được tập trung đúng mục tiêu, dẫn đến tình trạng nhiệt độ không đồng đều trên các tấm wafer.
Một điều cuối cùng: Hãy chú ý đến điện áp. Những dao động điện áp có thể làm hỏng filament của bóng đèn ngay lập tức. Khi lắp đặt hệ thống, hãy đảm bảo rằng các bộ điều khiển có thể xử lý tốc độ phát sóng hồng ngoại. Nếu chúng hoạt động chậm, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn trước khi hệ thống kịp phản ứng.