На поверхні платформи для обробки відбуваються кроки випалювання, під час яких визначається температурний режим необхідний для контролю ширини ліній. Зміна температури на 2°C під час м’якого чи жорсткого випалювання призводить до зміни значень CD та початку утворення небажаних структур на поверхні пластини. Ми створили нагрівач на основі вуглецевих нанотрубок, щоб усунути цю нестабільність.
Що є важливим з технічної точки зору
На всій поверхні платформи досягається температурна однорідність на рівні ±0,1°C, а точність дотримання заданої температури – ±0,2°C. Елемент на основі вуглецевих нанотрубок швидко реагує та залишається стабільним. Крім того, відсутність кварцу запобігає утворенню частинок. Цей нагрівач може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100; при цьому не відбувається вивільнення газів у процесну камеру, а також не існує „гарячих точок“, які могли б завдати шкоди матеріалу. Контроль температури дозволяє підтримувати її на рівні, необхідному для правильної роботи матеріалу.
Чому це ефективно у літографії
У літографії стабільність температури під час м’якого випалювання сприяє видаленню розчинників та зменшенню напруги в плівці. Стабільність під час жорсткого випалювання впливає на зчеплення плівки з поверхнею та її стійкість до етchingу. Завдяки цьому нагрівачу зменшуються відхилення значень CD, зменшується кількість необхідних корекцій, а лінії залишаються чіткими. Нагрівач може працювати 24/7 з передбачуваними интервалами технічного обслуговування, що зменшує час простою. Також знижується споживання енергії, оскільки елемент ефективно нагрівається та підтримує температуру без необхідності постійного перезапуску.
Які деталі є необхідними
Для нагрівача потрібне спеціальне, фільтроване джерело живлення та належне термічне закріплення на платформі – недостатньо якісні інтерфейси призведуть до порушення однорідності температури. Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб налаштувати швидкість нагрівання відповідно до характеристик вашого матеріалу. Після цього процес стає більш стабільним, а температурні параметри залишаються однаковими при кожній серії виробництва.