На виробничій лінії теплові зміни під час процедури м’якого випалювання чи сушіння пластин є серйозною проблемою. Це призводить до зміни критичних розмірів та утворення залишків, які у подальшому спричиняють зниження якості продукції. Ми створили інфрачервоні нагрівачі з швидкою реакцією, які допомагають усунути ці проблеми на самому початку процесу.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо галогенні елементи інфрачервоного випромінювання короткої довжини хвилі, розміщені в кварцевих капсулах. Це забезпечує високу щільність випромінювання та швидку реакцію нагрівача. У активній зоні температура на поверхні пластини залишається стабільною в межах ±0,1°C, а точність досягнення потрібної температури – ±0,5°C після термічної обробки. Рівень виводу тепла залишається стабільним від початкового стану до стану стабільної роботи – немає ефекту „гарячих точок“, які можуть порушити процес нанесення фотохімікатів. Нагрівачі розроблені для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; їх конструкція та матеріали розраховані на мінімізацію утворення частинок. Очікується, що нагрівачі будуть працювати більше 5 000 годин зі зниженням їх ефективності менше ніж на 5%, навіть при цілодобовій роботі.
Чому це ефективно на практиці
У процесі літографії м’яке випалювання визначає параметри фотохімікатів, а жорстке випалювання фіксує їх. Наші інфрачервоні нагрівачі швидко зменшують теплові зміни, тож розчинники виводяться без кипіння плівки. Ця ж швидкість допомагає під час очищення – сушіння пластин відбувається швидко та рівномірно, що дозволяє контролювати поверхневу енергію. Результатом є скорочення часу процесу, менше необхідності в переробці продукції та менше відходів. Витрати на енергію також зменшуються, оскільки нагрівач працює при нижчій температурі та швидше досягає потрібної температури, ніж звичайні нагрівальні плати.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідна точна оптична налаштуваність та наявність спеціального відбивача – неправильна налаштування призведе до нерівномірностей на поверхні пластини. Крім того, нагрівачі вимагають чистої електроенергії; коливання напруги та інші перешкоди можуть призвести до нестабільності роботи нагрівача. Обов’язково використовуйте захищений джерело живлення та перевірте обладнання перед його встановленням.