บนพื้นโรงงาน การอบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ไม่ใช่เพียงแค่ขั้นตอนการให้ความร้อน—มันคือการควบคุมมิติ อุณหภูมิการอบแบบนุ่มและอบแบบแข็งที่ลอยไปแม้เพียงเศษส่วนขององศาจะทำให้มิติที่สำคัญเคลื่อนที่ เปลี่ยนการสะท้อนแสง และลดผลผลิตทั่วทั้งล็อต เตาอบสุญญากาศทำให้สถานการณ์แย่ลง: คุณกำลังเคลื่อนที่ความร้อนผ่านสภาพแวดล้อมที่มีความดันต่ำ และไม่มีที่ซ่อนจากจุดร้อนหรือโซนเย็น
สิ่งที่สำคัญภายใน
เรออกแบบองค์ประกอบการทำความร้อนของเตาอบสุญญากาศโดยมีเป้าหมายที่ความสม่ำเสมอทางความร้อนระดับเวเฟอร์ โดยมุ่งหวังให้มีความแตกต่าง ±0.1°C ทั่วทั้งห้องเมื่อทุกอย่างตั้งตัว องค์ประกอบเหล่านี้ใช้วัสดุควอตซ์ที่มีการปล่อยก๊าซต่ำพร้อมการปล่อยอินฟราเรดคลื่นสั้น—ความร้อนที่รวดเร็วและมีทิศทาง พร้อมกับการตอบสนองอุณหภูมิที่คาดการณ์ได้ โซนร้อนจะถูกแยกออกจากผนังห้องด้วยการยืนสูงจากเซรามิกที่บริสุทธิ์สูง และบล็อคขั้วต่อจะนั่งอยู่ด้านนอกเขตสุญญากาศเพื่อรักษาการสร้างอนุภาคให้ใกล้เคียงกับศูนย์มากที่สุด ความเหมาะสมของห้องสะอาดถูกอบเข้ามา: วัสดุและการตกแต่งได้รับการจัดอันดับสำหรับชั้น 1–100 และทุกจุดเชื่อมจะถูกวางให้หลีกเลี่ยงรอยแยกที่กักเก็บสารตกค้าง
ในกระบวนการพิมพ์ลิโทกราฟี คุณต้องการโปรไฟล์การอบที่ทำซ้ำได้ในทุกการเปลี่ยนกะ องค์ประกอบของเรามอบการทำซ้ำนี้ ดังนั้นงบประมาณความร้อนของฟิล์มโฟโต้เรซิสต์จึงสัมผัสกับเวเฟอร์ในแต่ละล็อต—การกระจาย CD ที่น้อยลงและการทำซ้ำที่น้อยลง โปรไฟล์ความร้อนที่สม่ำเสมอและรวดเร็วยังช่วยลดเวลาในวงจรและลดพลังงานต่อชุด ความน่าเชื่อถือเกิดจากการเครียดทางความร้อนอย่างระมัดระวังและการออกแบบการยุติที่แข็งแรง ดังนั้นคุณสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันโดยไม่มีการล้มเหลวขององค์ประกอบที่ทำให้เกิดการหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
ความทนทานในการติดตั้งมีความสำคัญ องค์ประกอบต้องนั่งอยู่ในตำแหน่งที่ตรงและเท่าเทียมเพื่อรักษาการสัมผัสและความสม่ำเสมอ; หากมันไม่ตรง คุณจะได้จุดร้อนที่เกิดขึ้นในพื้นที่เฉพาะ และรูปทรงของห้องกำหนดรูปแบบขององค์ประกอบ—การปรับปรุงต้องทำให้แผนที่ความร้อนตรงกับตำแหน่งเรือเวเฟอร์ วางแผนการเชื่อมต่อการติดตั้งและมวลความร้อนของตัวขนส่งโหลดตั้งแต่เนิ่นๆ มิฉะนั้นความสม่ำเสมอจะเคลื่อนที่เมื่อคุณเริ่มการผลิต