На линии прогрева температура стабильна не по желанию — это жесткое требование. Сдвиг всего на несколько градусов может разрушить параметрический...

На литографическом участке быстро понимаешь, что сдвиг температуры выпекания на 0,5°C изменит критические размеры на нанометры — и именно так большое...