На производственном участке именно на этапе запекания определяется термический режим, необходимый для контроля ширины линий. Изменение температуры на 2°C во время процедур мягкого или жесткого запекания приводит к изменению параметров линий и может вызвать появление избыточных слоев на поверхности пластины. Мы разработали нагреватель на основе углеродных нанотрубок, чтобы устранить такую нестабильность.
Что имеет значение с технической точки зрения На всей площади подложки достигается термическая однородность на уровне ±0,1°C, при этом точность задания температуры составляет ±0,2°C. Углеродные нанотрубки обеспечивают быструю реакцию и стабильность работы нагревателя. Без использования кварца снижается количество частиц, образующихся в процессе работы. Нагреватель может использоваться в чистых помещениях класса 1–100; при этом не происходит выделения газов в процессную камеру, а также отсутствуют точки с высокой температурой, которые могли бы повлиять на качество пленки. Регулировка температуры позволяет соответствовать химическим свойствам используемой пленки, а не просто следовать за динамикой нагревателя.
Почему это работает в процессе литографии В процессе литографии стабильность температуры во время мягкого запекания способствует удалению растворителей и снижению напряжений в пленке. Стабильность температуры во время жесткого запекания влияет на адгезию пленки и её устойчивость к эрозии. Благодаря этому нагревателю сокращаются отклонения параметров линий, уменьшается количество необходимости переработки продукции. Нагреватель может работать круглосуточно с предсказуемыми интервалами технического обслуживания, что снижает вероятность непланированных простоев. Также снижается расход энергии, поскольку нагреватель эффективно нагревает и поддерживает температуру без необходимости её постоянной корректировки.
Какие детали необходимы Для работы нагревателя требуется специальный фильтрованный источник питания, а также надежное крепление к подложке. Несоответствие интерфейсов может привести к нарушению термической однородности. Необходимо провести короткую процедуру настройки скорости нагрева под конкретные условия использования пленки. После настройки процесс становится более предсказуемым, а термические параметры остаются стабильными при производстве разных партий продукции.