На производственной площадке тепловые смещения во время процедур мягкой обработки или сушки пластин являются серьезной проблемой. Они влияют на критические размеры изделий и оставляют после себя отложения, что приводит к снижению качества продукции. Мы разработали инфракрасные нагреватели с быстрой реакцией, чтобы устранять такие смещения на этапе их возникновения.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем галогеновые элементы длины волны инфракрасного света, помещенные в кварцевые корпуса. Это обеспечивает высокую плотность излучения и мгновенную реакцию нагревателя. На всей активной зоне температура пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C, а точность установленной температуры — в пределах ±0,5°C после процедуры нагрева. Выходная мощность остается стабильной с начала работы до достижения устойчивого состояния — нет никаких «горячих точек», которые могли бы повлиять на процесс нанесения фоторезиста. Нагреватели разработаны для использования в чистых помещениях класса 1–100; их конструкция и материалы выбраны таким образом, чтобы минимизировать образование частиц. Можно рассчитывать на более 5,000 часов работы с потерей мощности менее 5%, даже при круглосуточной работе.
Почему это эффективно на практике
В процессе литографии процедура мягкой обработки формирует структуру фоторезиста, а процедура жесткой обработки закрепляет её. Наш инфракрасный нагреватель быстро снижает температуру, поэтому растворители удаляются без кипения пленки. Та же скорость полезна и после очистки — сушка пластины происходит быстро и равномерно, что уменьшает количество водных следов и позволяет точнее контролировать поверхностную энергию пластины. Результат: сокращается время обработки, уменьшается количество переработок и отходов. Потребление энергии снижается, поскольку нагреватель работает при более низкой температуре и быстрее достигает заданной температуры по сравнению с традиционными нагревательными панелями.
Что необходимо учесть при использовании
Для правильной установки требуется точная оптическая настройка и наличие специального отражателя. Несоответствие этих условий приведет к неравномерности температуры на пластине. Кроме того, нагреватели требуют качественного питания; колебания напряжения могут привести к нестабильности выходной мощности. Используйте защищенное питание и тщательно проверьте оборудование перед его использованием.