Het drogen van MEMS-sensorwafern vereist zorgvuldig handelen. Je wilt dat het spoelvloeistof snel verdwijnt, maar als je niet voorzichtig bent, kunnen er watervlekken ontstaan – of erger nog: mechanische spanningen die de hele partij wafern beschadigen. Daarom gebruiken we infraroodverwarmingselementen die speciaal hiervoor zijn ontworpen. In plaats van alleen de lucht te verhitten, richten deze elementen zich rechtstreeks op het oppervlak van de wafer. Op deze manier wordt de vochtigheid zo snel mogelijk weggehaald, voordat de oppervlaktespanning de delicate MEMS-structuren kan beschadigen.
De warmtestream
We streven ernaar om een hoge vermogensdichtheid per lineaire inch te bereiken. Waarom? Omdat je wilt dat de wafer binnen seconden de verdampingstemperatuur bereikt, en niet pas na minuten. Als het droogproces te lang duurt, neemt de kans op besmetting toe.
Maar er is een nadeel: een hoge warmtedichtheid heeft twee kanten. Je moet goed opletten hoe je de temperatuur regelt. Als je het systeem te plotseling opwarmt, kunnen de dunne membraanlagen op de sensoren breken. Het gaat dus om de juiste balans.
Kwarts en het probleem met ‘afval’
Om stabiele omstandigheden te behouden, gebruiken we kwarts van hoge zuiverheid voor de filamenten. Dit is de enige manier om extreme temperatuurschommelingen te vermijden zonder dat de wafern beschadigen. We bedekken de filamenten ook met een laagje, zodat de energie rechtstreeks op de wafer terechtkomt en niet alleen de wanden van de kamer worden opgewarmd. Hierdoor blijft de warmte waar het hoort. Bovendien gebruiken we standaardverbindingen, zodat je ze gemakkelijk kunt vervangen wanneer dat nodig is.
Geen ruimte voor fouten
In een schone ruimte kan één enkele elektrische bliksemflits al fataal zijn voor een hele partij wafern. Daarom gaan we geen risico’s nemen. Elke verwarmingseenheid die we leveren, wordt eerst getest op zijn isolatiewaarde. We testen ze tot aan hun maximale spanning, zodat er geen lekken optreden. Fouten in het veld zijn dus uitgesloten.
Eén laatste tip: zorg ervoor dat de stroomvoorziening overeenkomt met de impedantie van de verwarmingseenheid. Als dit niet het geval is, kan de prestatie slecht zijn of kunnen de filamenten te snel kapotgaan.