Di lantai pengeluaran, pengeringan fotoresist bukan sekadar langkah pemanasan—ia adalah kawalan dimensi. Suhu pengeringan lembut dan keras yang menyimpang walaupun sedikit darjah akan mengubah dimensi kritikal, mengalihkan reflektiviti, dan mengurangkan hasil di seluruh batch. Ketuhar vakum menjadikannya lebih teruk: anda memindahkan haba melalui persekitaran tekanan rendah, dan tiada tempat untuk menyembunyikan daripada titik panas atau zon sejuk.
Apa yang penting di bawah permukaan
Kami mereka elemen pemanasan ketuhar vakum berdasarkan keseragaman terma peringkat wafer, dengan sasaran ±0.1°C di seluruh ruang setelah keadaan stabil. Elemen ini menggunakan badan kuarza dengan pengeluaran inframerah gelombang pendek—panas yang cepat, arah yang tepat dengan respons suhu yang boleh diramal. Zon panas kekal terasing dari dinding ruang pada sokongan seramik ketulenan tinggi, dan blok terminal terletak di luar sempadan vakum untuk memastikan penghasilan partikel sedekat mungkin dengan sifar. Kesesuaian bilik bersih telah dipertimbangkan: bahan dan kemasan dinilai untuk Kelas 1–100, dan setiap sambungan dirancang untuk mengelakkan celah yang menjebak sisa.
Dalam litografi, anda memerlukan profil pengeringan yang berulang, bertukar dari satu shift ke shift yang lain. Elemen kami memberikan kebolehulangan tersebut, supaya bajet terma fotoresist yang sama mencapai lot wafer selepas lot—kurang penyebaran CD, kurang kerja semula. Profil haba yang seragam dan cepat juga merapatkan masa kitaran dan mengurangkan tenaga per batch. Kebolehpercayaan datang daripada tekanan terma yang konservatif dan reka bentuk penamatan yang kukuh, jadi anda boleh beroperasi 24/7 tanpa kegagalan elemen yang menyebabkan masa henti yang tidak dirancang.
Toleransi pemasangan adalah penting. Elemen perlu diletakkan dengan tepat dan rata untuk mengekalkan sentuhan dan keseragaman; jika tidak tepat, anda akan mendapat titik panas yang terlokal. Dan geometri ruang menentukan susunan elemen—pemasangan semula memerlukan peta haba untuk selari dengan kedudukan bot wafer. Rancang antara muka pemasangan dan jisim terma pengangkut beban awal, atau keseraguman akan menyimpang setelah anda berada dalam pengeluaran.